O braço robótico de cerâmica desempenha um papel na manipulação de equipamentos de semicondutores.É equivalente à mão do robô do equipamento de semicondutores e é responsável por transportar chips de silício de wafer para o local especificadoComo o chip de silício da bolacha é extremamente vulnerável a outras partículas, é geralmente realizado num ambiente de vácuo.
Neste ambiente, o braço robótico da maioria dos materiais é geralmente difícil de concluir o trabalho.Neste momentoHá dois tipos de braços robóticos cerâmicos gerais, um é o braço robótico cerâmico de alumina,e o outro é um braço robótico de cerâmica de carburo de silício.
A cerâmica de alumina e a cerâmica de carburo de silício possuem as propriedades físicas de densidade de qualidade, alta dureza e alta resistência à abrasão, bem como boa resistência térmica,Excelente resistência mecânica, bom isolamento, boa resistência à corrosão, etc. É um excelente material para a fabricação de equipamentos de semicondutores braços robóticos.
Mas em termos de desempenho, o braço robótico feito de cerâmica de silício é melhor do que o braço robótico feito de cerâmica de alumina.
Os produtos cerâmicos de carburo de silício normalmente sinterizados são feitos de microenchimentos de carburo de silício de alta pureza e ultrafinos.O teor de carburo de silício é superior a 990,1% e a densidade do produto é ≥ 3,10 g/cm3.
