4.5 - topografia de superfície alta Eco SEM do microscópio de elétron da exploração da ampliação 6nm
A microscopia de elétron de varredura (sem) é apropriada para a observação da topografia de superfície dos metais, da cerâmica, dos semicondutores, dos minerais, da biologia, dos polímeros, dos compostos e de materiais de uma dimensão, bidimensionais e tridimensionais da nano-escala (imagem de elétron secundário, imagem de elétron backscattered). Pode ser usada para analisar os componentes do ponto, da linha e da superfície do microregion. É amplamente utilizada no petróleo, na geologia, no campo mineral, na eletrônica, no campo do semicondutor, na medicina, no campo da biologia, na indústria química, no campo de material do polímero, na investigação penal da segurança pública, na agricultura, na silvicultura e nos outros campos.
| Filamento SEM do tungstênio de A63.7062 Eco |
| Definição | 4.5nm@30KV (SE); 6nm@30KV (EBS) |
| Ampliação | Ampliação negativa: 15x~250000x; Ampliação da tela: 30x~500000x |
| Arma de elétron | O cátodo-Pre caloroso do tungstênio centrou o filamento Carteidge do tungstênio |
| Tensão de aceleração | 0~30KV |
| Sistema de lente | Lente eletromagnética em três níveis (lente afilada) |
| Abertura objetiva | Abertura do molibdênio ajustável fora do sistema do vácuo |
| Fase do espécime | Fase de cinco machados |
| Escala do curso | X (automóvel) | 0~50mm |
| Y (automóvel) | 0~50mm |
| Z (manual) | 0~25mm |
| R (manual) | 360º |
| T (manual) | -5º~90º |
| Max Specimen Diameter | 150mm |
| Detector | Detector de elétron secundário do vácuo alto (com proteção do detector) |
| Alteração | Elevação da fase; EBL; STM; AFM; Fase de aquecimento; Fase de Cryo; Fase elástica; manipulador Micro-nano; Máquina de SEM+Coating; SEM+Laser |
| Acessórios | CCD, laboratório6, detectordoraio X(EDS), EBSD, CL, WDS, máquinaderevestimento |
| Sistema do vácuo | Bombas moleculars do turbocompressor; Bomba da rotação |
| Corrente do feixe de elétron | 10pAt~0.1μA |
| PC | Dell Work Station personalizado |
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