Equipamento super Co. da maquinaria de Henan, Ltd
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Características da fornalha de Eelctric do laboratório do tubo:
Taxa de depósito alta do filme: A tecnologia do fulgor do RF, aumentando extremamente a taxa de depósito do filme, a taxa de depósito pode alcançar 10Å/S
Uniformidade alta da área: A tecnologia de alimentação do RF do multi-ponto avançado, a distribuição do trajeto do gás e a tecnologia de aquecimento especial, etc., fazem o alcance 8% do índice da uniformidade do filme
Consistência alta: usando o conceito de projeto avançado da indústria do semicondutor, o desvio entre as carcaças de um depósito é menos de 2%
Estabilidade alta do processo: O equipamento altamente estável assegura o processo contínuo e estável
Parâmetro técnico principal da fornalha elétrica do laboratório SUPER do tubo do CVD:
| Nome do produto e modelo | Fornalha elétrica do laboratório SP-1200T-84 |
| Tamanho de aquecimento do tubo (OD×L) | Dia80x400mm |
| Materiais de isolação da câmara | fibra de pouco peso do óxido de alumínio cerâmica |
| Temperatura máxima | tempo de funcionamento 1200°C ( < 3="" hours=""> |
| Temperatura de trabalho | 400-1100°C (ajustável, por muitos tempos) |
| Controle de temperatura | 30 segmentos inteligentes programáveis e controle do PID auto |
| Taxa de aquecimento | 1-15℃/min (ajustável) |
| Precisão da temperatura | ±1℃ |
| Par termoelétrico | Tipo de K |
| Elemento de aquecimento | fio de resistência |
| Vácuo final | -0.1Mpa |
| As especificações da bomba de vácuo modelam | 0.5A, taxa de bombeamento 0.5L/S, poder 120W |
| Escudo da fornalha | Escudo dobro com refrigerar do fã |
| Modo de exposição da temperatura | Quatro figura líquido Crystal Display |
| Poder de trabalho | C.A. 1 fase, 110V-240V, 50Hz/60Hz |
| Função de reposição | módulo de comunicação do computador e relação de comunicação RS485 instalados, para realizar o controlo a distância. |
Modelo padrão de fornalha de tubo do CVD de SP-1200T
| Modelo | Zona de aquecimento (OD×L milímetros) | Poder do trabalho | Especificações da bomba de vácuo |
| SP-1200T-53 | Φ50x300 milímetro (2,0" X12”) |
C.A. 1-phase/3-phase 110V-400V 50Hz/60Hz. |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-54 | Φ50x400 milímetro (2,0" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-55 | Φ50x500 milímetro (2,0" x20”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-63 | Φ60x300 milímetro (2,5" X12”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-64 | Φ60x400 milímetro (2,5" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-65 | Φ60x500 milímetro (2,0" x20”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-83 | Φ80x300 milímetro (3,2" X12”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-84 | Φ80x400 milímetro (3,2" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-104 | Φ100x400 milímetro (4,0" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
| SP-1200T-154 | Φ150x400 milímetro (6,0" x16”) | TW-1A; 1L/S; 120W; 110V/220V |
Prazos de entrega:
♥ para alguns fornalhas normais e componentes do tamanho padrão, nós temos no estoque; Assim nós podemos mandar em 2-3 dias;
O ♥ outros tamanhos personalizados o prazo de entrega é 15 dias a 20 dias de acordo com o pedido diferente dos produtos.
Nossa garantia:
Uma garantia limitada do ano com apoio da vida, com exclusão do elemento de aquecimento e do tubo cerâmico danificados pelo usuário.
Atenção: Nenhuns danos causada pelo uso de gás corrosivos e ácidos, e nenhum dano do erro operar-se e usar-se não estão sob a cobertura de uma garantia limitada do ano.