Peças altas do tungstênio do ponto de derretimento para Ion Implantation Equipment Filament Insulator

Peças de derretimento altas de PointTungsten para o isolador do filamento do equipamento da implantação de íon

Descrição de produtos

A implantação de íon é um tipo do de alta tecnologia de superfície material da alteração que foi de florescência e amplamente utilizada internacionalmente nas três décadas passadas, realizando a otimização das propriedades de superfície dos materiais ou pode obter algumas propriedades excelentes novas. Devido às características originais e proeminentes deste de alta tecnologia, é uma tecnologia muito importante na fabricação moderna do circuito integrado. Usa a máquina da implantação de íon para realizar a lubrificação do semicondutor e para mudar a condutibilidade e a estrutura do transistor do semicondutor.

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Desde que a conversão da fonte de íon aos íons do plasma durante a injeção do íon gera uma temperatura de funcionamento sobre de 2000°C, a erupção do feixe de íon igualmente gera uma grande quantidade de energia cinética do íon, e os metais típicos rapidamente queimam-se e derretem-se. Consequentemente, os metais inertes da massa relativamente alta e da densidade são exigidos manter o sentido da durabilidade componente da ejeção e do aumento do feixe de íon. A estabilidade química de alta temperatura, a baixa degeneração térmica e a vida útil longa de materiais do tungstênio fizeram-lhes a escolha preferida para as peças e os materiais de consumo da fonte de íon para implanters do íon na indústria do semicondutor. O tambor de proteção do cátodo emitindo-se, do painel emitindo-se, da haste da fixação do centro, da placa de polo do filamento dentro do arco que começa a câmara, etc. Estes são sabidos coletivamente como as peças do tungstênio da implantação de íon.

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