Princípio de funcionamento
Os elétrons colidem continuamente com os átomos do argônio no processo do movimento, ionizando um grande número íons do argônio a
bombardeie o alvo. Após colisões múltiplas, a energia dos elétrons diminui gradualmente. Os elétrons quebram afastado
da limitação da linha de força magnética, mantenha longe do alvo, e finalmente do depósito na carcaça.

Características

Modelo	MSC-ADC-X-X
Tipo de revestimento	Vários filmes dielétricos tais como o filme do metal, o óxido de metal e o AIN
Variação da temperatura de revestimento	Temperatura normal a 500℃
Tamanho de revestimento da câmara de vácuo	700mm750mm700mm (customizável)
Vácuo do fundo	< 5="">-7mbar
Espessura de revestimento	≥ 10nm
Precisão de controle da espessura	≤ ±3%
Tamanho de revestimento máximo	≥ 100mm (customizável)
Uniformidade da espessura de filme	≤ ±0.5%
Portador da carcaça	Com mecanismo planetário da rotação
Material de alvo	polegadas 4×4 (compatíveis com 4 polegadas e abaixo)
Fonte de alimentação	As fontes de alimentação tais como C.C., pulso, RF, SE e a polarização é opcional
Gás do processo	AR, N₂, O₂
Nota: Produção personalizada disponível.

Amostra de revestimento

Etapas do processo
O → coloca a carcaça para revestir na câmara de vácuo;
O → vacuumize aproximadamente;
O → gerencie na bomba molecular, vacuumize na velocidade superior, a seguir gerencie na revolução e na rotação;
→ que aquece a câmara de vácuo até que a temperatura alcançar o alvo;
O → executa o controle de temperatura constante;
O → limpa elementos;
O → revolve e de volta à origem;
Filme de revestimento do → de acordo com exigências do processo;
O → abaixa a temperatura e para o conjunto da bomba após o revestimento;
O → para de trabalhar quando a operação automática é terminada.

Nossas vantagens
Nós somos fabricante.
Processo maduro.
Resposta dentro de 24 horários laborais.

Nossa certificação do ISO

Partes de nossas patentes

Partes de nossas concessões e qualificações do R&D