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Gerador e sistema da micro-ondas | Frequência de funcionamento | 2450MHz |
Potência de saída | 0,1 ~ 6 quilowatts continuamente ajustáveis | |
Estabilidade do poder | melhor de ±1% (@ estado avaliado) | |
Relação do medidor de ondas da saída | BJ-26/22 com a flange FD-26/22 padrão | |
Entrada de poder | 380VAC/50Hz, 3 fio da fase 5, 11kW | |
Volume de água refrigerando | 18L/min | |
Coeficiente da onda de posição do sistema | ≤ 1,5 de VSWR | |
Escapamento da micro-ondas | encontre os padrões nacionais | |
Câmara da descarga de vácuo da micro-ondas | Tamanho e modo de trabalho | Modo de Φ200 x 300 (h) TM |
Área eficaz do depósito | Φ50mm | |
Escala do controle de pressão | 0.5KPa~30KPa | |
Precisão de controle da pressão | ±15Pa | |
Aquisição do vácuo | Único crescimento de cristal | taxa de crescimento de 10-15μm/H, único ≥ 1.6mm da espessura do crescimento |
Única qualidade de cristal | quase nenhuns defeitos sob o olho nu | |
Sistema do vácuo | Modo da ruptura | suficiência com N2 |
Grau final do vácuo | melhor than8×10-4Pa | |
Taxa do escapamento do vácuo | ≤10-9pA.m3/s | |
Elevação da pressão | 24 horas de elevação média da pressão são menos than1Pa/H |
Sistema de fluxo maciço do gás | Precisão | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
Tipo e escala de gás | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
Sistema da fase da amostra | Diâmetro da fase da amostra | Φ60mm, água-de refrigeração; |
Escala de ajuste da amostra tabela |
0~15mm | |
Escala de ajuste da placa da cavidade | 0~60mm | |
Medida da temperatura da carcaça | medida infravermelha da temperatura escala |
600~1200℃ (medida infravermelha da temperatura) |
Precisão de controle da temperatura | controle de temperatura precision±5℃; | |
Escala do controle da área da temperatura constante | diferença da temperatura de cada ponto do molibdênio platform≤30℃ | |
Relação de dispositivo | Água da entrada e da tomada | " Fio G1 exterior |
Conexão do gás | 1/4" fio exterior do VCR | |
Relação da descarga da exaustão | 3/4" fio exterior | |
Linha elétrica | TB4506 | |
Resistência de isolação | ≥5MΩ | |
Confiança | o tempo de trabalho contínuo e estável em condições normais não será menos do que 24H | |
Fonte de alimentação total | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
Água refrigerando total | 34L/min, água macia limpa, temperatura da água da entrada é 20℃±5℃; A pressão de água é 0.2~0.4MPa | |
Dimensões | ~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m |