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Sensor de alta temperatura da pressão de SOI
O sensor de alta temperatura da pressão é um tipo do sensor de alta temperatura de MEMS baseado no equipamento do semicondutor de SOI. Sua temperatura de funcionamento é -30~180.
Os sensores da série do HPT foram amplamente utilizados para medir a pressão diesel do pulverizador nos componentes dos testes do autocontrole dos motores diesel nos veículos e nas embarcações. Os sensores do HPT ainda podem operar-se normalmente mesmo que a temperatura do ambiente exceda 180℃.
Os sensores do HPT são produzidos primeiramente pelo íon que implanta os quatro piezoresistors no silicone. Os quatro resistores são conectados em um arranjo da ponte de Wheatstone, por meio de que dois resistores aumentarem com pressão positiva quando a outra diminuição dois na resistência. Quando a pressão está aplicada ao dispositivo e dois portos da ponte do resistor estão fornecidos com a fonte de energia, outros dois portos output um sinal bonde que seja diretamente proporcional à pressão. A tecnologia do equipartition do esforço é introduzida no projeto de morre, fazendo o dispositivo mais robusto contra a sobrecarga alta. Além disso, os resistores são isolados com meio de isolamento que garante a uniformidade alta do dispositivo do sensor.