Sistema de revestimento da evaporação do vácuo ultra alto da série de ZZB
VISTA GERAL
sistema de revestimento Ultra-alto da evaporação do vácuo, o estúdio do sistema da evaporação do vácuo na caixa de luva água-livre, ambiente ultra-puro oxigênio-livre, livre de poeira, PVD e hardware que entra sem emenda, integração da caixa de luva do controle, amplamente utilizada campo na pesquisa de OLED, DEFENDIDO, de OPV.
CARACTERÍSTICAS & BENEFÍCIOS
- Diretamente colocando a câmara de vácuo no ambiente da caixa de luva, a preparação do filme e uns processos mais atrasados são conectados sem emenda; esta estrutura é mais simples, mais seguro e conveniente do que transferência mecânica tradicional entre a câmara de vácuo e o ambiente da caixa de luva.
- O interior da câmara de vácuo adota o tratamento de lustro do espelho para reduzir a desgaseificação de superfície e para melhorar a velocidade de bombeamento.
- A porta da rua adota a estrutura deslizante lateral para salvar o espaço dentro da caixa de luva.
- O mecanismo de travamento da porta da rua adota o travamento automático, que é conveniente, rápido e seguro.
- Bomba molecular e bomba mecânica, grande sistema quase-óleo-livre do vácuo da velocidade de bombeamento (velocidade de bombeamento molecular 1200L/S da bomba).
- 4 grupos de fonte da evaporação do metal com a evaporação orgânica.
- Fonte de alimentação profissional da evaporação do vácuo, tensão atual, constante constante, escolha livre de poder constante da saída.
- Mecanismo customizável da máscara para cada teste padrão (máscara)
- Traduzido com www.DeepL.com/Translator (versão livre)
APLICAÇÃO
O grupo de utilizadores de equipamento do revestimento da evaporação da resistência do vácuo alto é os institutos e os laboratórios de pesquisa científica, que podem vaporizar substâncias do ponto orgânico, de baixa temperatura de fusão e metais inorgánicos. substâncias inorgánicas e metais do ponto orgânico, de baixa temperatura de fusão, etc., amplamente utilizados nos materiais, física, química, eletrônica, energia e outro relativo é amplamente utilizado nos materiais, na física, na química, na eletrônica, na energia e em outras disciplinas relacionadas, assim como em pesquisa de OLED/PLED/OPV.
ESPECIFICAÇÕES
◆Integração eletromecânica do equipamento, do projeto completamente fechado da máquina inteira, o uso da segurança, manutenção conveniente, estética e operação de usuário o produto promovido novo da experiência do controle.
◆304 lustros especiais de aço inoxidável do vácuo, do espelho, câmara de vácuo com porta da rua, velocidade de bombeamento rápida do vácuo, limite do vácuo alto de vácuo alto, fáceis de usar e para manter.
O limite do vácuo é até 8×10-5Pa (3.75×10-7Torr) com 1200 tipo bomba molecular como a bomba principal. 10-5Pa≤2h.
◆Quatro grupos de fontes da evaporação, compatíveis com o projeto de fontes da evaporação de materiais do metal e de materiais orgânicos, com as separações entre fontes.
