O gás da cauda do Polysilicon da pequena escala 700Nm3/H recicla da oficina do CDI

O gás da cauda do Polysilicon da pequena escala 700Nm3/H recicla da oficina do CDI

O gás da cauda do Polysilicon do ³ /H da indústria 700Nm do silicone de Ásia recicla

Um número destilação da dianteiro-fase e de tecnologia patenteada do hidrogênio extração back-stage são adotadas, e a tecnologia é acoplada, e o HCL e o chlorosilane são recuperados da exaustão policristalina do silicone para as unidades inteiras. O chlorosilane pode ser adotado como a matéria prima e a pureza do gás dos produtos pode exceder 99,999%.

O projeto da extração do hidrogênio do gás da cauda do polysilicon vem do gás da cauda da oficina do CDI, que tem o índice de hidrogênio alto, o baixo índice de impureza e exigências altas da pureza do produto. O projeto adota a adsorção do balanço da temperatura para o tratamento. Aquele é dizer, o gás da alimentação é projetado com velocidade de espaço apropriada, e as impurezas prejudiciais (cloreto de hidrogênio e chlorosilane) no gás da alimentação são removidas através da unidade de TSA, e então os sólidos e as impurezas suspendidos contínuos da poeira no gás do produto são removidos através do filtro da precisão para produzir o hidrogênio do produto da alto-pureza. A maioria do hidrogênio é transportado à rede da tubulação como produtos, e uma parte pequena do hidrogênio é retornada à seção de TSA para a regeneração do adsorvente, e o gás desorbed é retornado ao compressor do hidrogênio da seção dianteira para reciclar o chlorosilane. A rota do processo é madura e estável, que pode eficazmente assegurar a qualidade de produto. Ao mesmo tempo, o gás desorbed é retornado à seção da absorção para o tratamento, que melhora a taxa de recuperação do hidrogênio, e não há nenhuma emissão de gás do desperdício nesta seção.

Índices técnicos

Pureza: >99.999%

Capacidade: 700Nm ³ /H

Rendimento: ≥99%

Referência