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Aquecedores de fluido em linha ultra puros para fabricação de wafer de célula solar semicondutora
Aquecedores de fluido PVDF/PFA em linha ultrapuros
A série PreciseHeater® de Aquecedores em Linha Ultra-Pure é projetada para uso em aplicações de aquecimento de fluidos industriais, como semicondutores, fabricação de wafer de células solares e outras aplicações que exigem os mais exigentes padrões de pureza.Construídos com materiais de fluoropolímero da mais alta qualidade, esses aquecedores são projetados e construídos sob medida para uso com água deionizada, ácidos e outros processos químicos diversos.
Benefícios
Produtos químicos aquecidos no ponto de uso
Alta eficiência e pureza
Alta confiabilidade e baixa manutenção
Tamanho compacto para facilidade de instalação
Não é necessária purga de nitrogênio
Eficiência Máxima de Aquecimento
A tecnologia de aquecimento PreciseHeater® fornece a resposta térmica mais eficiente de qualquer aquecedor de fluoropolímero ultrapuro no mercado.No núcleo deAquecedor preciso® é nossa bobina de aquecimento especializada de baixa massa com todas as superfícies molhadas de PFA.Este elemento de aquecimento patenteado permite uma resposta rápida às demandas do processo.Devido à baixa massa doAquecedor preciso®, os aquecedores In-Line são capazes de atingir os pontos de ajuste de temperatura no menor tempo possível com uma distribuição de calor mais uniforme.
Compactar
Nossos aquecedores compactos ocupam um espaço mínimo para facilitar a integração.Aquecedor preciso® Aquecedores em linha normalmente têm 10” a 30” de altura e variam de 6” a 12” de largura, dependendo dos requisitos de energia, modelo e opções.
Características
• Superfícies molhadas de fluoropolímero
• Controlador de temperatura baseado em microprocessador
disponível com Power-To-Flow® Plus para passagem única
formulários
• Tamanhos de aquecedores que variam de 1 a 12 quilowatts • A maioria das voltagens disponíveis
Projetado e construído para atender a necessidades difíceis
Os Aquecedores em Linha PreciseHeater são ideais para aplicações de recirculação e ponto de uso onde são necessárias máxima pureza e compatibilidade.Para aplicações ultrapuras que utilizam água deionizada ou para aplicações onde produtos químicos agressivos podem ser usados, como ácidos, solventes e decapantes, oferecemos aquecedores compatíveis com o processo.Todos esses aquecedores estão disponíveis com uma variedade de opções de conexão e opções de interface para integração com as ferramentas e requisitos do cliente.
PVDF e PFA ou toda a superfície molhada de PFA
Para aplicações que requerem água DI aquecida, os aquecedores com PVDF e PFA fornecem uma solução de aquecimento eficaz.Para aplicações que utilizam processos químicos agressivos e temperaturas acima de 140°C, todas as superfícies molhadas com PFA oferecem o mais alto nível de pureza e durabilidade.
Formulários
Processos úmidos de semicondutores
Esterilização/Limpeza
Limpeza de wafer solar/fotovoltaica
Sensor de nível de líquido
Opções de fio terra
Termopar de temperatura excessiva
Termopar de processo
Opções
Corte térmico
Termopares
Sensor de nível de líquido de fibra óptica
Sensores RTD
Válvula de alívio de pressão
Modelo |
LH1 |
LH7 |
Material Molhado |
PVDF/PFA |
PVDF/PFA |
Material da Caixa |
Cano |
Cano |
Temperatura máxima |
95°C |
95°C |
Pressão |
60 psi a 95°C |
60 psi a 95°C |
Poder* |
1-15 kW |
1-18 kW |
Precisão |
± 0,1oC |
± 0,1oC |
Voltagens** |
200-480 VCA, 1 e 3 fases |
200-600 VCA, 1 e 3 fases |
Fluxo |
0,5-32 gpm (1,9-122 L/min) |
0,5-32 gpm (1,9-122 L/min) |
Benefícios |
Altura variável |
Fluxo mais alto, kW |