Guangzhou Precise Heater Co., Ltd.
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Aquecedores de Água Fluida DI para Processo de Fabricação de Semicondutores
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Modelo |
PWH-24i |
PWH-48i |
PWH-72i |
PWH-96i |
PWH-144i |
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Método de aquecimento |
Aquecimento por radiação com raios infravermelhos próximos |
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Potência do aquecedor |
24kW |
48kW |
72kW |
96kW |
144 kW |
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Rato de fluxo padrão (e a 55°C) |
6l/min |
12l/min |
18l/min |
24l/min |
36l/min |
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Taxa mínima de fluxo de aquecimento |
2l/min |
5l/min |
10 l/min |
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Faixa de ajuste de temperatura |
25 a 85°C |
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Precisão do controle de temperatura |
±1°C ※1 |
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Faixa de indicação do medidor de vazão |
0 a 10 l/min |
0 a 50 l/min (. Não é a faixa garantida de precisão do controle de temperatura) |
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Pressão de água DI permitida |
0,4 MP (a Pressão de alívio: 0,35 MPa) |
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Aquecedor |
Lâmpada de halogênio.Aquecimento indireto sem contato direto com a água |
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Material de vasos de aquecimento |
Quartzo transparente de alta pureza |
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Materiais molhados da tubulação |
Polímero de fluorocarbono |
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Funções de segurança |
Erro de vazão, superaquecimento, sem operação de líquido, desconexão do sensor de vazamento e desconexão da lâmpada Desligamento, alarme, indicação de erro ou saída de sinal em caso de detecção de erro |
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Função de comunicação externa |
RS-232C/RS-48(5 opções)※2 |
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Função de entrada/saída externa |
Sinal de 8 entradas/14 saídas (l Varia dependendo da especificação) |
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Dimensão(ões) total(s)※3 |
W340×D850×H1384 |
W340×D850×H1384 |
W340×D850×H1584 |
W340×D850×H1986 |
W1050×D700×H2004 |
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Peso |
Aproximadamente.140kg |
Aproximadamente.150kg |
Aproximadamente.160kg |
Aproximadamente.210kg |
Aproximadamente.410kg |
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Requisitos de energia (t 50/60Hz) |
AC200/208V 69/67A |
AC200/208V 139/133A |
AC200/208V 208/200A |
AC200/208V 277/266A |
AC200/208V 416/400A |
Um sistema de abastecimento de água quente para água ultrapura que é ideal para o ponto de uso para lavagem de pastilhas de silício e substratos de vidro de telas de cristal líquido.
O DI-Water Heater aquece a água purificada usada para enxaguar pastilhas de silício na fabricação de semicondutores e substratos de vidro na fabricação de LCDs.As lâmpadas halógenas são alojadas em tubos de vidro de quartzo de alta pureza e paredes duplas transparentes para garantir um aquecimento eficiente e livre de contaminantes de água ultrapura.O design fino e compacto minimiza o ponto do pé para instalação no ponto de uso.
●Características
1. Limpe
Recipientes de aquecimento através dos quais a água flui e todos os tubos de encanamento são feitos, respectivamente, de vidro de quartzo de alta pureza e polímero de fluorocarbono.
2. Compacto
A unidade fina e compacta requer uma pegada mínima para instalação no ponto de uso.
3.Excelente controle de temperatura
A alta potência das lâmpadas halógenas elevam rapidamente a temperatura e a ajustam em resposta às variações na vazão de água.
4. Alta Eficiência
Eficiência com mais de 95%.
5. Segurança
A segurança operacional ideal é fornecida por meio de displays e alarmes sonoros contra condições anormais, como superaquecimento, aquecimento sem carga, pressão excessiva e vazamento de água.
●Formulários
1. Aquecimento de água ultrapura para enxágue de pastilhas de silício e substratos de vidro de LCDs.
2.Aquecimento de água pura utilizada no lugar do CFC para limpeza.
