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Braço cerâmico de alumina de alta pureza 99,8% para acionamento de wafer de semicondutor
ZG Ceramic produzido Braço cerâmico para wafer drive de semicondutor apresenta boa resistência estrutural, resistência a altas temperaturas, alta resistência à pressão, boa precisão, bom paralelismo, alta densidade e organização uniforme.Por muitos anos, tem sido usado pela fábrica de semicondutores.
A ZG Ceramic possui um grupo de excelentes engenheiros e desfruta de uma tecnologia única de alto perfil nos projetos de processamento de cerâmica de formato especial.A tecnologia de processamento em formato especial é o ponto forte da ZG Ceramics.
Campos Atendidos:
Especificação:
特性项目 Itens | 三氧化二铝 Al2O3 | ||||||||
材质编号 Nº do material |
A99 | A997 | A997LT | A998 | A999 | ||||
颜色 Cor | 白 branco | 象牙色 Ivory | 象牙色 Ivory | 象牙色 Ivory | 象牙色 Ivory | ||||
纯度 Pureza (% em peso) | ≥99% | ≥99,7% | ≥99,7% | ≥99,8% | ≥99,9% | ||||
密度 Densidade |
g/cc | ASTM-C20 | 3.8 | 3,92 | 3,92 | 3,93 | 3,94 | ||
吸水率 Absorção de água |
% | ASTM-C373 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
HV硬度 Dureza HV |
GPa | ASTM C1327-03 | 15 | 17 | 16 | 18 | 18 | ||
抗弯强度 Resistência à flexão |
MPa | ASTM C1161-02 | 365 | 370 | 390 | 400 | 400 | ||
抗压强度 Força compressiva |
MPa | ASTM C773 | 2450 | 2500 | 2500 | 2500 | 2600 | ||
弹性衡量 Módulo Elástico |
GPa | ASTM C1198-01 | 360 | 375 | 385 | 385 | 385 | ||
波松比 Razão de Poisson |
- | ASTM C1198-01 | 0,23 | 0,23 | 0,23 | 0,23 | 0,23 | ||
断裂韧性 Tenacidade à Fratura |
MPa*m1/2 | ASTM C1421-01 | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | ||
膨胀系数 Expansão Térmica RT |
×10-6/℃ RT 400 ℃ |
ASTM C372-94 | 7.2 | 8.2 | 8.2 | 8.2 | 8.2 | ||
热传导率 Condutividade térmica |
W/(MK) | ASTM C408-88 | 29 | 32 | 32 | 32 | 33 | ||
耐热冲击 Choque térmico Resistência |
℃ | - | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | ||
介电强度 Rigidez dielétrica |
KV/mm | ASTM D149-97 | 15 | 15 | 15 | 16 | 18 | ||
体积电阻率 Resistividade volumétrica |
Ω.cm×1014 | ASTM D257-99 (20°C) |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | ||
介电常数 Constante dielétrica |
- | ASTM D150-98 (1 MHz) |
9.9 | 9.9 | 9.9 | 9.9 | 9.7 | ||
介电损耗 Tangente de perda dielétrica |
(×10-4) | ASTM D150-98 (1 MHz) |
20 | 10 | <2 | 10 | 5 | ||
硝酸(60%), 90°C HNO3 |
Perda de peso mg/cm2/D | - | 0,1 | <0,05 | <0,05 | <0,05 | <0,03 | ||
硫酸(95%), 95°C H2SO4 |
Perda de peso mg/cm2/D | - | 0,33 | <0,23 | <0,23 | <0,23 | <0,2 | ||
氢氧化钠(30%), 80°C NaOH |
Perda de peso mg/cm2/D | - | 0,26 | <0,04 | <0,04 | <0,04 | <0,02 |