Vibração magneticamente levitada CXF-320/3000E da bomba de vácuo de Turbomolecular baixa

As bombas moleculares levitam magneticamente são as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética.

As bombas moleculares levitativamente magnetizadas da série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação para campos de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

O rolamento eletromagnético também é chamado de “ursos levitativos magnéticos ativos”, consistindo de um rolamento magnético, um sensor e um sistema de controle. Este projeto tem resposta dinâmica e ajuste oportuno, o eixo de alta velocidade e operação confiável.

As vantagens:

1. zero de atrito durante a operação, e baixo consumo de energia

2. Fácil adquirir vácuo alto realmente limpo e vácuo ultra alto sem lubrificação para bombas

3. Capaz de extrair gases corrosivos para longo prazo

4. alta segurança e longa vida útil devido à proteção de rolamentos com esferas de cerâmica de precisão

5. função de geração de energia em caso de desligamento repentino

6. Livre de atrito

7. Livre de poluição

8. Livre de manutenção

9. Baixa vibração

10. instalado em qualquer orientação.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para mancais magnéticos: 5 eixos magneticamente levitados. Este projeto pode ter resposta dinâmica e ajuste oportuno por meio de tecnologia de controle de suspensão magnética de circuito fechado ativa dinâmica baseada na avançada teoria de controle internacional, de modo a garantir vantagens significativas do eixo de alta velocidade como operação estável levitada e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento motorizado: Motor DC de alta eficiência de alta velocidade e sistema de controle servo são aplicados a bombas levitativas magneticamente em série, de modo a ter energia máxima do motor e compensar a velocidade de rotação automaticamente, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função reguladora automática de energia dinâmica.
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Os rotores turbo das bombas moleculares seriais de suspensão magnética são feitos por meio da combinação de liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Em comparação com todos os rotores de liga de alumínio, os turbo-rotores são caracterizados por uma grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que são alcançados alvos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão: Superfícies de peças em câmaras de bombas moleculares com suspensão magnética serial são tratadas com processo especial, para que as superfícies resistam à corrosão causada por gases corrosivos em processos de fabricação de semicondutores por um longo tempo. Além disso, tais gases inertes como N2 são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que a função de gases corrosivos estavelmente exaustivos por longos períodos é realizada.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento: As bombas moleculares levitadas magneticamente são equipadas com um aquecedor elétrico e um controlador de temperatura, de modo que a água de resfriamento, aquecimento de ar e osso, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteção podem ser monitorados e controlados durante a operação. as bombas podem ser mantidas com algum valor a longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e os requisitos para o processo especial de gravação podem ser cumpridos.

Especificações:

Aplicações:

Bombas moleculares levitadas magneticamente são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, chapeamento industrial e instrumentos científicos, especialmente para a extração de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implantação iônica e gases facilmente coagulados em temperatura normal.