Movimentação externo do motor refrigerar de água da bomba de vácuo de Maglev Pump Turbo do controlador

Bomba de Maglev, CXF-250/2300, ISO-K/CF, refrigerar de água, controlador externo

As bombas moleculars magneticamente levitadas são as bombas de que shafting é apoiado em virtude da força magnética, cumprindo exigências da aplicação para campos da fabricação moderna do semicondutor, da fabricação da microplaqueta, do chapeamento industrial e de instrumentos científicos.

Tecnologias:

• Controle a tecnologia para o rolamento magnético: uma linha central 5 levitou magneticamente, com base em teoria de controle internacional avançada, para garantir tais vantagens significativas do shafting de alta velocidade como a operação levitada e segura do estábulo.
• Tecnologia do controle da movimentação do motor: Sistema de alta velocidade de grande eficacia do motor e do servocontrol da C.C., tendo a energia máxima do motor e para compensar a velocidade de gerencio de shafting automaticamente, desse modo realizando a partida estável, a operação segura e a função de regulamento automática da energia dinâmica.
• Tecnologia composta do rotor da fibra do carbono: Feito combinando a liga de alumínio de grande resistência e a fibra de pouco peso do carbono. caracterizado da grande redução do peso e da grande melhoria da força, de modo que os alvos da velocidade de gerencio alta, do elevado desempenho e da confiança alta sejam conseguidos.
• Tecnologia de oposição da corrosão: As superfícies das partes nas câmaras são tratadas com o processo especial, de modo que as superfícies possam resistir a corrosão causada por gás corrosivos em processos de manufatura do semicondutor por muito tempo. Além, os gás inertes tais como o N2 são inteiramente dentro shafting enchido das bombas para proteger as baixas peças do vácuo nas bombas, de modo que a função estavelmente de esgotar gás corrosivos por longos período seja realizada.
• Sistema de controlo da temperatura de aquecimento: equipado com um calefator bonde e um controlador de temperatura, a água refrigerando, o aquecimento do ar-osso, o aquecimento bonde e o calor levados por gás protetores podem ser monitorados e controlado durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para o prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias contínuas na temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e as exigências para o processo especial tais gravura a água-forte podem ser cumpridas.

As vantagens:

Isto bombeia tem vantagens, tais como a fricção zero durante a operação, e consumo da baixa potência, fáceis adquirir o vácuo alto realmente limpo e o vácuo ultrahigh sem lubrificação para as bombas, capaz de extrair gás corrosivos para a segurança a longo prazo, alta e a vida útil longa devido à proteção dos rolamentos com as bolas cerâmicas da precisão e da função de geração do poder em caso do sem energia repentino. Tem advatages como livre da fricção, da poluição e da manutenção e com baixa vibração, e pode ser instalado em toda a orientação.

Aplicações:

A extração dos gás corrosivos que existem gravura em àgua forte, CVD, PVD e implantação e gás de íon coagulou-se facilmente na temperatura normal nos campos da fabricação do semicondutor, da fabricação do grampo, do chapeamento industrial e de instrumentos científicos.

Especificação: