Maglev Pump, CXF-250 / 2301E, Refrigeração a água, a bordo As bombas moleculares levitam magneticamente são as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética.
As bombas moleculares levitativamente magnetizadas da série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação para campos de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.
Tecnologias:
- Tecnologia de controle para mancais magnéticos: um sistema de 5 eixos levitado magneticamente, com base na avançada teoria de controle internacional, para garantir vantagens tão significativas dos eixos de alta velocidade como operação estável levitada e confiável.
- Tecnologia de controle de acionamento motorizado: motor DC de alta eficiência e servocontrole de alta eficiência, com potência máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulagem automática da energia dinâmica .
- Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Fabricado por uma liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Caracteriza-se por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que são atingidos alvos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
- Tecnologia de resistência à corrosão: Superfícies de peças em câmaras são tratadas com processo especial, de modo que as superfícies podem resistir à corrosão causada por gases corrosivos em processos de fabricação de semicondutores por um longo tempo. Além disso, gases inertes, como o N2, são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que a função de gases corrosivos de exaustão estável por longos períodos é realizada.
- Sistema de controle de temperatura de aquecimento: equipado com aquecedor elétrico e controlador de temperatura, água de resfriamento, aquecimento ósseo, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteção, pode ser monitorado e controlado durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para a longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não depositadas nas bombas, e os requisitos para o processo especial de gravação podem ser cumpridos.
Aplicações:
Bombas moleculares levitadas magneticamente são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, chapeamento industrial e instrumentos científicos, especialmente para a extração de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implantação iônica e gases facilmente coagulados em temperatura normal.
Especificações:
| Flange (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
| Flange (para fora) KF | DN40 |
| Velocidade de bombeamento (L / s) | N 2 : 2300 |
| Ar: 2250 |
| Ele: 1900 |
| H 2 : 850 |
| Taxa de compressão | N 2 : 10 8 |
| Ar: 10 8 |
| Ele: 10 4 |
| H 2 : 10 3 |
| Pressão final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
| ISO-K / F: 6 × 10 -6 |
| Max. Pressão contínua contra o vácuo (Pa) | 60 |
| Max. Pressão de vácuo | N 2 : 250 |
| Gás ao longo (sccm) | N 2 : 3600 |
| Ar: 1400 |
| Ele: 2800 |
| H 2 : 2100 |
| Velocidade de rotação (rpm) | 27000 |
| Tempo de Partida (min) | ≤11 |
| Tipo de resfriamento, padrão | agua |
| Consumo de Água de Resfriamento (L / min) | 1 |
| Temperatura da Água de Arrefecimento (℃) | 20 |
| Conexão de energia: tensão (V AC) | 220 |
