Bomba refrigerar de água Turbomolecular/bomba levitada Magentically a bordo do controlador

Bomba de Maglev, CXF-320/3001E, refrigerar de água, ISO-F, a bordo

O rolamento eletromagnético é chamado igualmente “os ursos levitados magnéticos ativos”, consistindo em um rolamento magnético, em um sensor e em um sistema de controlo. Este projeto tem a resposta dinâmica e ajuste oportuno, shafting de alta velocidade e operação segura.

As bombas moleculars magneticamente levitadas são as bombas de que shafting é apoiado em virtude da força magnética.

As bombas moleculars magneticamente levitadas da série são equipamento da geração do vácuo desenvolvido por KYKY para cumprir exigências da aplicação para campos da fabricação moderna do semicondutor, fabricação da microplaqueta, chapeamento industrial e instrumentos científicos.

Vantagens:

1. Fricção zero durante a operação, e consumo da baixa potência

2. Fácil adquirir o vácuo alto realmente limpo e o vácuo ultrahigh sem lubrificação para as bombas

3. Capaz de extrair gás corrosivos para o prazo

4. Segurança alta e vida útil longa devido à proteção dos rolamentos com as bolas cerâmicas da precisão

5. função de geração do poder em caso do sem energia repentino

6. Livre da fricção

7. Livre da poluição

8. Livre da manutenção

9. Baixa vibração

10. instalado em alguma orientação.

Aplicações:

As bombas moleculars magneticamente levitadas da série são aplicadas principalmente aos campos da fabricação do semicondutor, a fabricação do grampo, chapeamento industrial e instrumentos científicos, especialmente à extração dos gás corrosivos que existem gravura em àgua forte, CVD, PVD e implantação e gás de íon coagulados facilmente na temperatura normal.

Especificações:

Tecnologias:

• Controle a tecnologia para o rolamento magnético: uma linha central 5 levitou magneticamente, com base em teoria de controle internacional avançada, para garantir tais vantagens significativas do shafting de alta velocidade como a operação levitada e segura do estábulo.
• Tecnologia do controle da movimentação do motor: Sistema de alta velocidade de grande eficacia do motor e do servocontrol da C.C., tendo a energia máxima do motor e para compensar a velocidade de gerencio de shafting automaticamente, desse modo realizando a partida estável, a operação segura e a função de regulamento automática da energia dinâmica.
• Tecnologia composta do rotor da fibra do carbono: Feito combinando a liga de alumínio de grande resistência e a fibra de pouco peso do carbono. caracterizado da grande redução do peso e da grande melhoria da força, de modo que os alvos da velocidade de gerencio alta, do elevado desempenho e da confiança alta sejam conseguidos.
• Tecnologia de oposição da corrosão: As superfícies das partes nas câmaras são tratadas com o processo especial, de modo que as superfícies possam resistir a corrosão causada por gás corrosivos em processos de manufatura do semicondutor por muito tempo. Além, os gás inertes tais como o N2 são inteiramente dentro shafting enchido das bombas para proteger as baixas peças do vácuo nas bombas, de modo que a função estavelmente de esgotar gás corrosivos por longos período seja realizada.
• Sistema de controlo da temperatura de aquecimento: equipado com um calefator bonde e um controlador de temperatura, a água refrigerando, o aquecimento do ar-osso, o aquecimento bonde e o calor levados por gás protetores podem ser monitorados e controlado durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para o prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias contínuas na temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e as exigências para o processo especial tais gravura a água-forte podem ser cumpridas.