KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
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A bomba Sputter-ion é um equipamento de geração de vácuo para a obtenção de vácuo limpo e ultra-alto.
A bomba de iões de pulverização é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto.
A bomba de iões funciona num sistema fechado que não requer uma bomba de trabalho contínua.
Princípio:
Material do ânodo é barril de aço inoxidável e material de placa de istitânio catódico. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.
A bomba de íon de tríodo é aprimorada para aumentar a taxa de bombeamento do gás inerte; íons de gás inerte são submetidos à incidência de pastoreio em grade de titânio do cátodo, então neutralizados, e refletidos para a parede da bomba e ânodo para serem enterrados com o filme de titânio. Como o gás inerte enterrado na parede da bomba não será liberado devido ao bombardeamento iônico positivo, a velocidade de bombeamento do gás inerte é aumentada.
Vantagens:
1. alto grau de vácuo
2. vibração zero
3. ruído zero
4. Limpeza
5. Conveniente para operar
Aplicações:
Pode ser aplicado a aparelhos experimentais científicos, tais como aceleradores de partículas de alta energia, aparelhos de reação termonuclear controlados, dispositivos de vácuo elétricos, material semicondutor, microscópio eletrônico e espectrômetro de massa, e outros equipamentos industriais que exigem vácuo ultra-alto.
Especificações:
| Modelo | 3L-50 | ||
| Mesa | DN100CF | ||
| Velocidade de bombeamento (L / S) | (ar) | 55 | |
| Velocidade de bombeamento | (Ar) | 12 | |
| Pressão de arranque (Pa) | ≤5 × 10 -4 | ||
| pressão final (Pa) | 7 × 10 -8 | ||
| (℃) temperatura de cozimento | ＜ 200 | ||
| Com magnético | |||
| Sem magnético | ＜ 300 | ||
| tensão de trabalho (kv) | -5 | ||
| unidade de eletrodo | 2 | ||
| dimensão (mm) | 90 × 90 (4-M6) | ||
| L * W * H (mm) | 290 × 120 × 299 | ||
| (kg) peso | 22 | ||