KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
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A bomba Sputter-ion é um equipamento de geração de vácuo para a obtenção de vácuo limpo e ultra-alto, com vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, vibração zero e conveniência na operação. A bomba de iões funciona num sistema fechado que não requer uma bomba de trabalho contínua.
Princípio:
Material do ânodo é barril de aço inoxidável e material de placa de istitânio catódico. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.
Aplicações:
A bomba de iões de pulverização é a principal bomba de óleo menos vácuo ultra-alta, e pode ser aplicada a aparelhos de experimentação científica tais como acelerador de partículas de alta energia, aparelhos de reação termonucleares controlados, dispositivo de vácuo elétrico, material semicondutor, microscópio eletrônico e massa espectrômetro e outros equipamentos industriais que exigem vácuo ultra-alto.
Especificações:
| Modelo | 2L-100 | ||
| Mesa | DN150CF | ||
| Velocidade de bombeamento (L / S) | (ar) | 120 | |
| Velocidade de bombeamento | (Ar) | 1,2 | |
| Pressão de arranque (Pa) | ≤5 × 10 -4 | ||
| pressão final (Pa) | 7 × 10 -8 | ||
| (℃) temperatura de cozimento | ＜ 200 | ||
| Com magnético | |||
| Sem magnético | ＜ 300 | ||
| tensão de trabalho (kv) | 7 | ||
| unidade de eletrodo | 4 | ||
| dimensão (mm) | 140 × 210 (4-M10) | ||
| L * W * H (mm) | 350 × 250 × 307 | ||
| (kg) peso | 38 | ||