KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
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A bomba Sputter-ion é um equipamento de geração de vácuo para a obtenção de vácuo limpo e ultra-alto.
A bomba de iões de pulverização é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto.
A bomba de iões funciona num sistema fechado que não requer uma bomba de trabalho contínua.
Vantagens:
1. alto grau de vácuo
2. vibração zero
3. ruído zero
4. Limpeza
5. Conveniente para operar
Aplicações:
1. acelerador de partículas de alta energia
2. Aparelho de reação termonuclear controlado
3. dispositivo de vácuo elétrico
4. Material semicondutor
5. microscópio eletrônico
6. espectrômetro de massa
Princípio:
Material do ânodo é barril de aço inoxidável e material de placa de istitânio catódico. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.
Especificações:
| Modelo | 2L-50 | |||
| Mesa | DN100CF | |||
| Velocidade de bombeamento (L / S) | (ar) | 65 | ||
| Velocidade de bombeamento | (Ar) | 0,6 | ||
| Pressão de arranque (Pa) | ≤5 × 10 -4 | |||
| pressão final (Pa) | 7 × 10 -8 | |||
| (℃) temperatura de cozimento | ＜ 200 | |||
| Com magnético | ||||
| Sem magnético | ＜ 300 | |||
| tensão de trabalho (kv) | 7 | |||
| unidade de eletrodo | 2 | |||
| dimensão (mm) | 90 × 90 (4-M6) | |||
| L * W * H (mm) | 290 × 120 × 299 | |||
| (kg) peso | 22 | |||