Equipamento do tratamento de superfície de modelagens por injeção do plasma para a indústria Optoelectronic do semicondutor

Equipamento Optoelectronic do tratamento de superfície de modelagens por injeção do plasma da indústria do semicondutor

1. Introdução de produto

Esta máquina pequena da limpeza do plasma do vácuo usando o tipo princípio do acoplamento indutivo de funcionamento, e joga um papel proeminente na isolação do tubo e das peças de micro-ondas. É apropriado para segurar produtos sensíveis com limpeza alta. Pode tratar os materiais plásticos, bioquímicos, PDMS, vidro ou semicondutor do metal, cerâmica, materiais compostos, polímero e outros materiais, tem o efeito da superfície limpa super, esterilização, melhorando a mudança do wettability, mudança da propriedade da superfície e melhorando força obrigatória na superfície material.

2. Características

• Principalmente aplicável à produção da pequena escala e à experiência científica.
• Volume pequeno, estrutura e fácil de operar apertados e para manter.
• Tecnologia alemão do plasma do núcleo.
• Material 316 de aço inoxidável importado; resistente à corrosão.
• Máquina de controlo importada do fluxo preciso da válvula de agulha.
• Canal em dois sentidos do gás do reagente do processo.
• Personalização disponível.

3. Parâmetros técnicos:

4. Composição de Equipmemt:

A máquina de limpeza do plasma é composta da câmara da reação (igualmente conhecida como a câmara de vácuo), sistema do vácuo, sistema de descarga, sistema de controlo elétrico, sistema de controlo de fluxo da entrada.

1. A câmara da reação é composta de uma câmara de vácuo e de um elétrodo, que seja um espaço da reação do plasma. Os artigos a ser processados são colocados na câmara da reação.
2. O sistema do vácuo consiste em um calibre de vácuo, em uma bomba de vácuo e em uma tubulação de vácuo, que seja responsável para remover o ar na câmara da reação e manter um grau apropriado do vácuo durante a operação.
3. O sistema de descarga fornece o sinal e a energia para que a câmara da reação excite a ionização de gás da reação na câmara da reação para formar o plasma necessário.
4. A função do sistema de controlo eletrônico é controlar o processo da ação do equipamento de acordo com os parâmetros e as etapas de processo ótimo, e mantém a estabilidade dos parâmetros de processo
5. O sistema de controlo do fluxo da entrada é composto principalmente do medidor de fluxo e da válvula de solenoide, seu papel é controlar exatamente o fluxo da entrada do gás de reação, e mantém o grau necessário do vácuo durante a operação.

5. Operação do equipamento

   1) Abra a porta da câmara de vácuo, põe os artigos a ser processados na câmara de vácuo, e perto a porta da câmara de vácuo;

   2) Gire sobre os parâmetros principais do interruptor de alimentação e do grupo através do tela táctil;

   3) O equipamento correrá automaticamente de acordo com os parâmetros ajustados (o → da entrada de ar do → do vácuo descarrega o → esvazia). Após o tratamento, a campainha elétrica soará para lembrar o operador que a experiência esteve terminada;

   4) Abra a tampa da porta da câmara de vácuo e remova os artigos processados.

6. Princípio de limpeza do plasma

• Introdução de plasma:

O plasma é um tipo de estado existente de substância. Geralmente é justaposto com os estados do sólido, os líquidos e os gasosos de uma substância e chamado o “quarto estado de matéria”. Pode usar as partículas alta-tensão do plasma e o exame de superfície material e a reação química realizar a ativação de superfície material, gravura a água-forte, descontaminação e outros processos, assim como o coeficiente material da fricção, a adesão e as propriedades hidrófilas e outras de superfície da finalidade da melhoria.

• Efeito de limpeza do plasma:

A superfície do material tratado é limpada quimicamente e fisicamente fazendo o contato da superfície do plasma e de material e para reagir usando a tecnologia de limpeza do plasma (características do plasma da baixa temperatura) a fim melhorar a lisura da superfície, grupo funcional químico novo do implante e realizar gravura a água-forte.

   (1) limpeza e ativação para a superfície material

  (2) efeito químico novo de grupo funcional do formulário.

Se o gás do reagente é introduzido no gás eletricidade-descarregado, a reação química complexa acontecerá à superfície do material ativado. Os grupos funcionais novos serão introduzidos, como o hydrocarbyl, amidogen e carboxyl, que são grupos ativos e poderiam melhorar a atividade da superfície material significativamente.

gravura a água-forte do plasma (de 3).

Gravura a água-forte do plasma significa um processo de remover a substância gasosa temporária gerada criando o plasma de um tipo do gás apropriado escolhido e a substância na superfície contínua.

O plasma que grava a técnica é realmente um tipo do processo reativo do plasma. O plasma direto assim chamado, igualmente chamado gravura a água-forte de íon reativa, é um tipo do formulário sob que o plasma é gravado diretamente. Suas vantagens principais incluem a taxa e a regularidade de gravação com água-forte altas. Os parâmetros tecnologicos do plasma para jogar um papel vital em gravar o efeito.

7. Processo de limpeza do plasma:

8. Vantagens da limpeza do plasma:

• Substitui a tecnologia de limpeza molhada tradicional, e é verde e a favor do meio ambiente (não contendo nenhum VOC).
• O gás serve como o meio da reação assim que o custo de operação é baixo (oxigênio).
• Escala de aplicação larga; o objeto do tratamento e a matéria-prima não precisam de ser distinguidos (diagrama material).
• Eficiência de limpeza alta e fácil realizar a automatização.
• Melhore o desempenho de superfície material e a força adesiva ao remover a sujeira.

9. Comparação antes e depois do tratamento do plasma:

O ângulo de contato do líquido na superfície do material contínuo é um parâmetro importante para medir o wettability do líquido na superfície do material. Se θ90°<90>, a superfície contínua é hidrofóbica.

A medida do valor da dina é muito comum em imprimir, no revestir, aplicações em laminar, em soldar e em outro. Pode refletir a capacidade da superfície material para ligar-se facilmente. Geralmente, maior o valor da dina, melhor o desempenho de ligamento da superfície com um outro material.

10. Aplicações comuns:

                     A alteração de superfície de materiais de polímero melhora a propriedade de ligamento de superfície

         A remoção do resíduo do óxido de componentes eletrônicos, melhora a qualidade bond e para aumentar o efeito de ligamento.

                            As carcaças de vidro removem os contaminadores orgânicos

                                     Remoção do óleo das superfícies de metal

                                   Graphene e a outra alteração de limpeza do pó

                                              PDMSSurface ativou a ligação

11. Segurança de Qaulity e após serviços de Salse:

a garantia de 1 ano, se o equipamento falha durante o período de garantia, fornecedor deve arranjar a continuação e o negócio do personnelto com até pesquisa de defeitos.

1) Acessórios e informação com equipamento.

Quando o equipamento é entregado, o fornecedor fornecerá um conjunto completo de documentos técnicos a respeito da operação, da comissão e da manutenção, incluindo manuais da operação e manutenção. O manual da manutenção deve conter o esquema de circuito, o esquema de circuito do gás e o diagrama do encanamento.

2) A instalação

Forneça todos os detalhes necessários preparar-se para a instalação de equipamento do local.

3) Treinamento

Durante a instalação, o treinamento pode ser fornecido remotamente, incluindo a operação normal, o reparo e a manutenção, a análise de problemas do tanque e os procedimentos de emergência.

4) Entrega do equipamento a usar-se e serviço técnico pós-venda

O fornecedor fornecerá os documentos da instalação de equipamento, da operação e manutenção, e do suporte laboral para o treinamento da operação. Igualmente uma cópia da garantia que indica a data efetiva e a cobertura da garantia e da pessoa de contato do vendedor.