Dongguan Amber Purification Engineering Limited
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De fluxo de ar laminar FFU do novo tipo unidade de filtro do fã do quarto desinfetado FFU
A flexibilidade do sistema de limpeza é muito importante para fábricas de IC devido a suas flexibilidade alta e taxa alta da cobertura. Se a limpeza na oficina precisa o ajuste regional como as mudanças do processo, a limpeza em áreas locais pode ser mudada mudando o volume de ar de FFU ou substituindo a placa cega. Quando coberta densamente, a taxa da cobertura pode alcançar 85,5%.
O teto superior do FFU é a pressão negativa, que pode jogar um papel da selagem da pressão negativa. A pressão de ar no teto é pressão negativa, e a pressão de ar na limpeza é maior do que a pressão no espaço do teto. Se há uma diferença entre o FFU e o selo do suporte, a pressão negativa impedirá que o ar que não passa através do filtro de HEPA entre na sala, que é conducente a assegurar a limpeza do quarto desinfetado.
A resistência do sistema de ar é pequena, a velocidade do vento na tomada de ar é baixa, e a área de barlavento do FFU é grande, e a resistência do fluxo de ar é sobre 50Pa; A área secional do canal de ar do retorno é igualmente grande, e a resistência do canal de ar do retorno está dentro de 15Pa; A resistência de assoalho perfurado e de grade é pequena. A resistência total do ar do retorno (incluindo assoalho perfurado e canal de ar da grade), da resistência de FFU e da resistência do filtro final é menos do que 250Pa. A velocidade do vento da tomada de FFU é geralmente 0.38~0.45m/s.
O consumo de baixa energia pelo volume de ar da unidade depois que FFU é adotado, lá não é nenhuma necessidade de adicionar um fã do impulsionador e uma sala especial da máquina, e a resistência do encanamento do suprimento de ar é evitada. Quando o motor de DC/EC (retificador eletrônico) é adotado para FFU, a eficiência do motor pode alcançar 75%~80%, e cada grupo pode conduzir o controle regulamentar da velocidade de acordo com a queda de tensão do filtro para salvar o consumo de energia. Consequentemente, o consumo de energia pelo volume de ar da unidade é geralmente mais baixo do que o sistema centralizado de grandes fãs centrífugos.
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