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--Cmara de processamento de vidro: ∮100mm; 130mm alto.
--Tamanho da fase do espécime: ∮40mm (copos do espécime da posse 6)
--Tamanho dourado do alvo:
∮58mm*0.12mm (espessura)
--Detecço do vácuo: Calibre de Pirani
--Proteço do vácuo: pa 20 com a válvula da inflaço do microscale
--Gás médio: Argônio ou ar com a entrada de ar especial do gás do
argônio e gás que regula no microscale.
Coater do salpico do íon A50.7011 | |
Cmara de vácuo | Dimetro 100mm*H130mm |
Fase do espécime | Dimetro 40mm (copos do espécime da posse 6) |
Ouro que engasga o alvo | Dimetro 58mm*0.12mm (espessura) |
Calibre de vácuo | Calibre de Pirani |
Bomba de vácuo | Aleta Pums da rotaço: 2L/s |
Ponto da proteço do vácuo | 20Pa com a válvula da inflaço do Microscale |
Gás de trabalho | Argônio ou ar com a entrada de ar especial do gás do argônio e gás que regula no microscale |
Engasgando a tenso | 1.6KV |
Peso de efetivaço | 48kg |
Conformidade | CE |