Microscópio Confocal OPTO do laser de EDU A64.5401 10×
Number modelo:A64.5401
Lugar de origem:China
Quantidade de ordem mínima:1 PC
Termos do pagamento:T/T, união ocidental, Paypal
Capacidade da fonte:mês de 5000 PCes
Prazo de entrega:5~20 dias
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Plaza de F-1501 Wanda, estrada do no. 18 Shijingshan, Pequim 100043, China
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▶A64.5401 caracteriza 1) O software da medida e de análise com operaço integrada no precisa de comutar a relaço para a operaço, e os parmetros da configuraço so ajustados adiantado antes da medida. O software conta automaticamente os dados da medida e fornece a funço da exportaço do relatório dos dados, que pode rapidamente realizar a funço da medida do grupo. 2) Forneça a funço automática da medida da multi-área, a medida do grupo, o foco automático, o ajuste automático do brilho e outras funções automáticas. 3) Funço de costura da medida Provide. 4) Forneça funções de processo de dados dos quatro módulos do ajuste de posiço, da correço, da filtraço e da extraço. O ajuste de posiço inclui funções tais como a imagem que nivela e que espelha; a correço inclui funções tais como a filtraço espacial, retocar, e denoising máximo; filtrar inclui funções tais como a remoço da forma, o padro que filtram, e a filtraço espectral; a extraço inclui funções tais como a extraço de regiões e a extraço de perfis. 5) Forneça cinco funções principais da análise que incluem a análise geométrica do perfil, a análise da aspereza, a análise de estrutura, a análise de frequência e a análise de funço. Entre elas, a análise geométrica do perfil inclui características tais como a altura da etapa, a distncia, o ngulo, a curvatura e as outras funções, e a retido, a avaliaço da tolerncia da redondeza e as outras funções; a análise da aspereza inclui a linha aspereza de acordo com os standard internacionais ISO4287, aspereza de superfície ISO25178, ISO12781 que nivela o grau e as outras funções da análise do completo-parmetro; a análise estrutural inclui o volume do poro e a profundidade da calha, etc.; a análise de frequência inclui funções tais como o sentido da textura e a análise de espectro; a análise funcional inclui funções tais como parmetros de SK e parmetros do volume. 6) Forneça funções auxiliares da análise tais como a análise da um-chave e análise do multi-arquivo, moldes ajustados da análise, combinados com as funções automáticas da medida e da medida do grupo fornecidas na medida, pode realizar a medida do grupo de dispositivos pequeno-feitos sob medida da preciso e diretamente obter os dados da análise. |
O microscópio Confocal é um instrumento de teste usado para a medida do nanômetro de vários dispositivos e materiais da preciso. É baseado no princípio de tecnologia confocal, combinado com a tecnologia porosa da exploraço paralela do disco, o algoritmo preciso do módulo de exploraço do Z-sentido, da modelagem 3D, etc. para executar a exploraço do no-contato na superfície do dispositivo e para estabelecer uma imagem 3D de superfície. A imagem 3D da superfície do dispositivo é executada através do software básico. Processo de dados e análise, e obtenha o 2D e os parmetros 3D que refletem a qualidade de superfície do dispositivo, para realizar o instrumento ótico da inspeço para a medida 3D da topografia de superfície do dispositivo. |
| Folha de especificaço técnica Confocal do microscópio A64.5401 | ||
| Princípio de mediço | Sistema ótico Confocal | |
| Lente objetiva do microscópio | 10× (padro), 20×, 50×, 100× (opcionais) | |
| Campo de viso | 160×160 μm~1.6×1.6 milímetro | |
| Quadro de varredura rate*1 | ≥10HZ | |
| Medida da altura | Repeatability*2 | 20×: 40nm; 50×: 20nm; 100×: 20nm |
| Accuracy*2 | μm do ± (0.2+L/100) | |
| Definiço da exposiço | 0.5nm | |
| Medida da largura | repeatability*3 | 20×: 100nm; 50×: 50nm; 100×: 30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| Definiço da exposiço | 1nm | |
| Plataforma XY do deslocamento | tamanho | 210×210 milímetro |
| Escala móvel | 100×100 milímetro | |
| Carga | 10kg | |
| Método de controle | elétrico | |
| escala de movimento do Z-sentido | 100 milímetros | |
| Torre da lente objetiva | 5-hole motorizou | |
| Iluminaço | fonte luminosa | Diodo emissor de luz |
| Saída máxima | 840mW | |
| Dimensões | 590×390×540mm | |
| Peso total | 45kg | |
| Fonte de alimentaço | AC220V/50Hz | |
| Ambiente de trabalho | Temperatura 10℃~35℃, minutos de /15 <1>do ℃ do inclinaço de temperatura, umidade 30~80%, vibraço <0> | |
| Observaço: *1 usam uma lente 20x para medir um bloco da amostra da
etapa do padro de 4.7µm em uma temperatura ambiental de 20±2°C. *2 medem o bloco da amostra da etapa do padro de 4.7µm em uma temperatura ambiental de 20±2°C com uma lente de 20 vezes ou de mais. *3 usam uma lente de 20 vezes ou de mais medir a amostra padro do retículo em uma temperatura ambiental de 20±2°C. | ||
| Especificações da lente objetiva | Abertura numérica modelo de distncia de funcionamento do campo de viso (W.D.) (N.A.) | |
| μm 10,6 milímetro 0,25 de 10X 1600×1600 | ||
| μm 1,3 milímetro 0,40 de 20X 800×800 | ||
| μm 0,38 milímetro 0,75 de 50X 320×320 | ||
| μm 0,21 milímetro 0,90 de 100X 160×160 | ||
| Lista da configuraço de produto Configuraço padro: | 1) Corpo A64.5401 principal | |
| 2) Fase XY do deslocamento: fase automática do deslocamento | ||
| 3) Computador do tipo | ||
| 4) Módulo da calibraço do sistema | ||
| 5) Manche | ||
| 6) Software Confocal do microscópio | ||
| 7) Caixa dos acessórios do instrumento | ||
| 8) Manual do produto | ||
| 9) Certificado do produto, carto da garantia | ||
| Opcional | 1) Lente objetiva de mediço: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Tabela da suço do vácuo (para bolachas de semicondutor): 6 polegadas, 8 polegadas; | ||
| 3) Módulo de emenda da funço da medida da medida automática (exige o apoio do hardware) | ||
Execute as características de superfície da topografia tais como os contornos de superfície, defeitos de superfície, vista condições, condições da corroso, nivelamento, aspereza, waviness, diferenças do poro, alturas da etapa, deformações de dobra, e condições de processamento de vários produtos, componentes e materiais. Medida e análise. |
▶4,1 elevada preciso e repetibilidade alta O sistema de medida composto de sensores de baixo nível de ruído da imagem latente, componentes e codificadores óticos de capacidade elevada, e algoritmos excelentes da reconstruço 3D para assegurar a medida que encontra os padrões; enraizado na indústria da medida por muitos anos, na mesma linha de projeto industrial e no nível de processamento superior para assegurar a um nível elevado a repetibilidade da medida. |
▶4,2 exploraço paralela de alta velocidade A exploraço paralela do multi-ponto do perfil que usa o disco poroso melhora extremamente a eficiência do trabalho comparada com o esquema tradicional da exploraço do único-ponto do galvanômetro, e a exploraço pode ser terminada somente em alguns segundos. |
▶4,3 adaptaço forte O sistema de medida tem um alcance dinmico ultra-alto para poses diferentes da amostra, complexidade da superfície, e a refletividade de superfície.
▶4,4 software integrado da medida e de análise 1) A medida e a análise so operadas na mesma relaço, sem interruptor, os dados da medida so contadas automaticamente, e a funço da medida rápida do grupo é realizada; 2) A janela visual é conveniente para que os usuários observem o processo de varredura no tempo real; 3) Combinado com a funço automática da medida do molde feito sob encomenda da análise, pode automaticamente terminar o processo da medida e da análise da multi-regio; 4) Os cinco módulos funcionais da análise geométrica, da análise da aspereza, da análise de estrutura, da análise de frequência, e da análise de funço esto completos; 5) a análise do Um-clique, análise do multi-arquivo, artigos livremente combinados da análise salvar como moldes da análise, análise do um-clique de amostras do grupo, e as funções do análise de dados e as estatísticas da carta so fornecidas; 6) Mais de 300 2D e parmetros 3D podem ser medidos de acordo com ISO/ASME/EUR/GBT e outros padrões. |
▶4,5 manche da preciso O manche integrado com a funço do ajuste do deslocamento nos três sentidos de X, de Y, e de Z pode rapidamente terminar o trabalho da pre-medida tal como a traduço da fase e a focalizaço do Z-sentido.
▶4,6 projeto anticoliso Evite dano lente objetiva e ao objeto para ser medido devido coliso causada por Misoperation.
▶4,7 microscópio inteiramente elétrico Equipado com uma série de peças elétricas, estas peças elétricas proximamente conectadas trabalham junto para fazer a observaço rápida e simples. |
Microscópio Confocal OPTO do laser de EDU A64.5401 10×
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