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Índices técnicos principais:
1. vácuo final: Pa do ³ ≤6.6X10
2. o sistema da aquisiço do vácuo adota a bomba molecular + unidade
mecnica da bomba
3. o bombeamento contínuo por 30 minutos, o grau do vácuo é
inferior ou igual a Pa do ³ 8x10
4. os alvos cilíndricos engasgar podem trabalhar independentemente
ou ao mesmo tempo
5. a carcaça ≤60mm no dimetro, pode ser aquecida a ≤700℃, com
refrigerar de água, velocidade ajustável, momento ajustável da
carcaça da base do alvo
Componente | Composiço e especificações | |
Cmara de vácuo | Número | Única cmara |
Material | 304 de aço inoxidável | |
Formulário | Estrutura vertical cilíndrica | |
Dimenso | Φ300XH250 | |
Selo superior | Selo de borracha do flúor | |
Bocal | Contém a relaço do calibre de vácuo dois, diversa engasgar do magnétron relaço de alvo, uma relaço da válvula de vácuo alto, uma relaço da tubulaço da drenagem, relaço da janela de observaço, relaço de três válvulas, relaço três e mecanismo de funcionamento de relaço dois elétrica introduço. | |
Modo de abertura | Dispositivo de levantamento da tampa superior sem levantamento superior | |
Iluminaço/que seca | lmpada da iluminaço 1x1000W, secagem da lmpada do halogênio 1x1000w, secando temperatura dentro de 200℃ | |
Sistemas de bombeamento do vácuo | bomba principal | Bomba molecular 1pc |
forepump | bomba mecnica da aleta 6L giratória | |
bomba do revestimento protetor | ||
válvula | A válvula de vácuo alto adota o vácuo ultrahigh 1pc, sangra a válvula adota a parada do vácuo ultrahigh válvula três | |
Tubulaço/comum | Tubo de aço inoxidável da preciso, composto dos foles, rapidamente descarregue a rua e o carto dobro junço da luva | |
Sistema de mediço do vácuo | O calibre de vácuo composto, calibre adota todo o calibre desencapado do metal | |
Magnétron que engasga o sistema | Magnétron que engasga a fonte | Um ou dois magnétrons R60 que engasgam alvos |
Posiço de montagem do alvo | Placa da cmara de vácuo | |
Fonte de alimentaço | DC0.5KW, RF0.5KW cada 1pc | |
tamanho do alvo | Alvo de cobre redondo Φ60x2pcs | |
Operaço do defletor | Eixo direto 1pc | |
Sistema da carcaça | Tamanho/quantidade da carcaça | Φ≤60mm, 1pc |
Rotaço da carcaça | autoroatation, velocidade 0-120/minute | |
Torque da base do alvo | 10cm, é ajustável (±5cm) | |
Aquecimento da carcaça | Pode ser aquecido abaixo de 700℃, com refrigerar de água | |
controle de temperatura | Controle do PID, a preciso de controle ±1℃ | |
Sistema de refrigeraço da água | refrigerar do alvo | Com uma tubulaço de água refrigerando e nenhuma água refrigerando ou insuficiente presso de água refrigerando, a água o relé da presso é desligado e a fonte de alimentaço do alvo é cortada para impedir fora o alvo do superaquecimento |
Vácuo - sistema de refrigeraço | Refrigerar molecular da bomba | |
Refrigerar da carcaça | Refrigerar de água refrigerando | |
Sistema de entrega do gás | Transportando o modo | o gasoduto e a válvula de carregamento so passados com o vácuo parede da cmara |
Controle de gás | Controlador do fluxo maciço do MFC | |
Quadro | estrutura | Quadro de alumínio |