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Índice principal do parmetro:
1.: a cmara final do revestimento de vácuo é ≤6.6X10-5Pa; o tempo
de bombeamento: 30 minutos so melhores do que 8X10-4Pa
2. alvo: 4 pés de alvo da rotaço (com protetor), revoluço, rotaço e
exploraço, distncia da carcaça do alvo ajustável (30-90mm)
3. rotaço da carcaça: revoluço, rotaço de duas amostras de protetor
da toga
4. temperatura de aquecimento da carcaça: o uso de placa de
aquecimento blindada, ajustável 0-800℃ contínuo; usando o
instrumento de controle da temperatura para a medida da temperatura
e o controle automáticos do PID, preciso de controle ±1℃ da
temperatura
5. medidor de fluxo maciço do MFC de 2 maneiras (escala: 0-100sccm)
controla o fluxo do gás
6. sistema de controlo: controle do tela táctil +PLC