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GaN Wafer Característica
produtos | Substratos de nitreto de gálio (GaN) | ||||||||||||||
Descriço do produto: | O modelo Saphhire GaN é apresentado Método de epitaxia de fase de vapor de hidreto epixial (HVPE).No processo HVPE, o ácido produzido pela reaço GaCl, que por sua vez é reagido com amônia para produzir fuso de nitreto de gálio.O modelo epitaxial de GaN é uma maneira econômica de substituir o substrato de cristal único de nitreto de gálio. | ||||||||||||||
Parmetros técnicos: |
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Especificações: | Filme epitaxial de GaN (plano C), tipo N, 2"* 30 mícrons, safira; Filme epitaxial de GaN (plano C), tipo N, safira 2"* 5 mícrons; Filme epitaxial de GaN (Plano R), tipo N, 2"* 5 mícrons de safira; Filme epitaxial GaN (M Plane), tipo N, 2"* 5 mícrons de safira. filme de AL2O3 + GaN (Si dopado tipo N);Filme de AL2O3 + GaN (Mg dopado tipo P) Observaço: de acordo com a orientaço e tamanho do plugue especial de acordo com a demanda do cliente. | ||||||||||||||
Embalagem padro: | 1000 salas limpas, 100 sacos limpos ou embalagens de caixa única |
Aplicativo
O GaN pode ser usado em muitas áreas, como display LED, detecço e
geraço de imagens de alta energia,
Exibiço de projeço a laser, dispositivo de energia, etc.
Especificações:
Especificaço do modelo GaN
Item | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Dimensões | e 50,8 mm ± 1 mm | ||
Grossura | 350 ± 25h | ||
Área de superfície utilizável | > 90% | ||
Orientaço | Plano C (0001) fora do ngulo em direço ao eixo M 0,35° ± 0,15° | ||
Orientaço Plana | (1-100) ±0,5°, 16,0 ±1,0 mm | ||
Plano de Orientaço Secundária | (11-20) ±3°, 8,0 ±1,0 mm | ||
TTV (variaço de espessura total) | < 15h | ||
ARCO | < 20h | ||
Tipo de Conduço | tipo N | tipo N | Semi-isolante (dopado com Fe) |
Resistividade (3O0K) | < 0,1 Q・cm | < 0,05 Q・cm | >106 Q・cm |
Densidade de Deslocamento | De 1x105 cm-2 a 3x106 cm-2 | ||
polimento | Superfície frontal: Ra < 0,2 nm (polido);ou < 0,3 nm (polido e tratamento de superfície para epitaxia) | ||
Superfície Traseira: 0,5~1,5 pm;opço: 1~3 nm (solo fino);< 0,2 nm (polido) | |||
Pacote | Embalado em um ambiente de sala limpa classe 100, em recipientes de wafer individuais, sob uma atmosfera de nitrogênio. |
tamanho | Substratos de 4"GaN |
Item | GaN-FS-N |
Dimensões tamanho | Ф 100,0 mm ± 0,5 mm |
Espessura do Substrato | 450 ± 50 µm |
Orientaço do Substrato | Eixo C (0001) em direço ao eixo M 0,55± 0,15° |
polonês | SSP ou DSP |
Método | HVPE |
ARCO | <25UM |
TTV | <20um |
Rugosidade | <0,5nm |
resistividade | 0,05ohm.cm |
dopante | Si |
(002) FWHM&(102) FWHM | <100arco |
Quantidade e tamanho máximo de furos e poços | Grau de produço ≤23@1000 um;Grau de pesquisa ≤68@1000 um |
Grau fictício ≤112@1000 um | |
Área utilizável | Nível P>90%;Nível R>80%: Nível D>70% (excluso de defeitos de borda e macro) |
Substratos de GaN autônomos no polares (plano a e plano m) | ||
Item | GaN-FS-a | GaN-FS-m |
Dimensões | 5,0 mm × 5,5 mm | |
5,0 mm × 10,0 mm | ||
5,0 mm × 20,0 mm | ||
Tamanho personalizado | ||
Grossura | 330 ± 25 µm | |
Orientaço | um plano ± 1° | m-plano ± 1° |
TTV | ≤15 µm | |
ARCO | ≤20 µm | |
Tipo de Conduço | tipo N | |
Resistividade (300K) | < 0,5 Ω·cm | |
Densidade de Deslocamento | Menos de 5x106 cm-2 | |
Área de superfície utilizável | > 90% | |
polimento | Superfície frontal: Ra < 0,2 nm.Epi-pronto polido | |
Superfície traseira: terreno fino | ||
Pacote | Embalado em um ambiente de sala limpa classe 100, em recipientes de wafer individuais, sob uma atmosfera de nitrogênio. |
2.ZMKJ fornece wafer de GaN para a indústria de microeletrônica e optoeletrônica com dimetro de 2" a 4".
Wafers epitaxiais de GaN so cultivados pelo método HVPE ou MOCVD, podem ser usados como um substrato ideal e excelente para dispositivos de alta frequência, alta velocidade e alta potência.Atualmente, podemos oferecer wafer epitaxial GaN para pesquisa fundamental e uso de desenvolvimento de produtos de dispositivos, incluindo modelo GaN, AlGaN
e InGaN.Além do wafer padro baseado em GaN, você pode discutir sua
estrutura de camada epi.