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ITO Máquina de revestimento de teia de vácuo de pulverizaço de rolos a rolos / Máquina de pulverizaço PVD de filme PET
Temos o prazer de propor o nosso revestimento de revestimento de vácuo de pulverizaço de rolos da série MultiWeb para atender aos seus requisitos de deposiço de várias camadas.
O MultiWeb Coater fornece as seguintes características principais:
A. Uma cmara dividida em zonas de presso múltipla para acomodar
várias fontes de deposiço.
B. Capacidades de deposiço simultnea de múltiplas fontes numa única
passagem de rede, para revestimento multicamadas.
C. A direço de enrolamento da teia reversível permite a deposiço de
camadas ilimitadas sem quebrar o vácuo.
D. Mecanismos de manipulaço de teia de preciso com guia de borda
para permitir passagens múltiplas sem perda de alinhamento
(opcional).
E. Sistema de acionamento de webs invertidos AC para controlo
preciso de múltiplas velocidades de webs.
F. Sistemas de monitorizaço de espessura óptica e/ou de resistência
em linha, para controlar com preciso a espessura e a uniformidade
da deposiço (facultativo).
G. A cmara é construída em SUS304L inoxidável com componentes de
gaseificaço baixa para assegurar um vácuo mais profundo.
H. bombeamento a vácuo por uma combinaço de bomba turbo-molecular e
criogénica a baixa temperatura, para proporcionar um vácuo limpo
sem umidade ou contaminaço por óleo.
ITO Máquina de revestimento de teia de vácuo de pulverizaço de
rolos para rolos
1Material de substrato: PET, PEN, PES, PI, PC, PA,...
2Espessura do substrato: 15 a 300 μm
3Métodos de deposiço: AC Reativo para SiO2 ((Dielectrico); DC
pulsado para ITO (Metal & Condutor)
4TCO do condutor de óxido: ITO, AZO, IZO...
5Condutor de metal: Al, Cu, Mo, Ag...
6- filme óptico: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7Semicondutores: ZnO, InGaZnO...
8Isolador: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Uniformidade: ± 5% em toda a teia
Descriço da máquina de revestimento de teia de vácuo de pulverizaço de rolos a rolos ITO
Especificações gerais | |||||||
Corpo de cmara de vácuo: zonas de presso múltipla de cmara única | |||||||
Carros móveis: Carroça | |||||||
Zona de deposiço: 2 X Zona de pulverizaço (opcional: 3 Zona de pulverizaço) | |||||||
Fonte de pulverizaço: 2 X Fonte de pulverizaço de catodo duplo (opcional: 3 Fontes de pulverizaço de catodo duplo) | |||||||
Pré-tratador de substrato: Fonte de íons lineares | |||||||
Largura da teia: 1300 mm | |||||||
Dimetro de enrolamento: Φ600 mm Max | |||||||
Direço de enrolamento: bidirecional | |||||||
Espessura do substrato: 15~300 μm | |||||||
Velocidade da Linha Web:0.5~10M/min | |||||||
Tenso da rede: 5,0PLI Max 0,5PLI Min | |||||||
Alinhamento da teia: ±3 mm (uma passagem) | |||||||
Bomba de hi-vácuo: Bomba turbo | |||||||
Bomba de vácuo bruto: combinaço de bomba seca e sopro | |||||||
Bomba de humidade: polifria criogénica | |||||||
Controle da espessura da deposiço: monitorizaço (facultativo) | |||||||
a) Transmisso óptica; b) Resistência de corrente Eddy | |||||||
Funço do sistema: Funço do sistema informático baseado em PLC |
Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.