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Máquina de Revestimento por Sputtering DC Magnetron / Sistema de Sputtering DC
Modelos de magnetron sputtering: DC Sputtering, MF Sputtering, RF Sputtering
O que é DC Sputtering?
DC Sputtering usado principalmente para pulverizar alvos de metal puro como: Cromo, Titnio, Alumínio, Cobre, Aço Inoxidável, Níquel, Prata, Ouro para filmes de alta condutividade.
O DC Sputtering é uma técnica de revestimento de deposiço de vapor físico de filme fino (PVD) em que um material alvo a ser usado como o revestimento é bombardeado com moléculas de gás ionizado, fazendo com que os átomos sejam "pulverizados" no plasma.Esses átomos vaporizados so ento depositados quando se condensam como um filme fino sobre o substrato a ser revestido.
Sputtering DC é o tipo mais básico e barato de sputtering para deposiço de metal PVD e materiais de revestimento alvo eletricamente condutivos.Duas grandes vantagens do DC como fonte de energia para este processo é que ele é fácil de controlar e é uma opço de baixo custo se você estiver fazendo deposiço de metal para revestimento.
DC Sputtering é usado extensivamente na indústria de semicondutores criando circuitos de microchip no nível molecular.É usado para revestimentos de ouro de joias, relógios e outros acabamentos decorativos, para revestimentos no refletivos em vidros e componentes ópticos, bem como para plásticos metalizados de embalagens, espelhos de automóveis, refletores de iluminaço de automóveis, rodas e cubos de automóveis, etc.
Máquina de revestimento por pulverizaço catódica DC Magnetronatuaço
1. Presso de vácuo final: melhor que 5,0 × 10-6Torr.
2. Presso de Vácuo Operacional: 1,0×10-4Torr.
3. Tempo de bombeamento: de 1 atm a 1,0×10-4Torr≤ 3 minutos (temperatura ambiente, cmara seca, limpa e vazia)
4. Material de metalizaço (sputtering + evaporaço do arco): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, etc.
5. Modelo Operacional: Completo Automaticamente/Semi-Auto/ Manualmente
Estrutura da máquina de revestimento por pulverizaço catódica DC Magnetron
A máquina de revestimento a vácuo contém o sistema completo de chave listado abaixo:
1. Cmara de Vácuo
2. Sistema de Bombeamento a Vácuo Rouhging (Pacote de Bomba de Apoio)
3. Sistema de bombeamento de alto vácuo (bomba molecular de suspenso magnética)
4. Sistema Elétrico de Controle e Operaço
5. Sistema de Instalaço Auxiliar (Subsistema)
6. Sistema de deposiço: cátodo de pulverizaço DC, fonte de alimentaço DC, fonte de íon da fonte de alimentaço de polarizaço para opcional
Máquina de revestimento por pulverizaço catódica DC MagnetronEspecificações
RTSP1250-DC | |||||||
MODELO | RTSP1250-DC | ||||||
TECNOLOGIA | Sputtering Magnetron (DC) + Chapeamento de Íons | ||||||
MATERIAL | Aço inoxidável (S304) | ||||||
TAMANHO DA CMARA | Φ1250*H1250mm | ||||||
TIPO DE CMARA | Cilindro, vertical, 1 porta | ||||||
SISTEMA DE PULSAÇO | Design exclusivo para deposiço de filme preto fino | ||||||
MATERIAL DE DEPOSIÇO | Alumínio, Prata, Cobre, Cromo, Aço Inoxidável, Níquel, Titnio | ||||||
FONTE DE DEPOSIÇO | Alvos de Sputtering Cilíndricos / Planares + 7 Fontes de Arco Catódico Direcionado | ||||||
GÁS | MFC- 4 vias, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
AO CONTROLE | CLP (Controlador Lógico Programável) + Tela sensível ao toque | ||||||
SISTEMA DE BOMBA | SV300B - 1 conjunto (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 conjuntos (Leybold) | |||||||
D60T- 2 conjuntos (Leybold) | |||||||
Bombas Moleculares Turbo: 2* F-400/3500 | |||||||
PRÉ-TRATAMENTO | Fonte de alimentaço de polarizaço: 1*36 KW | ||||||
SISTEMA DE SEGURANÇA | Numerosos intertravamentos de segurança para proteger os operadores e equipamento | ||||||
RESFRIAMENTO | Água fria | ||||||
ENERGIA ELÉTRICA | 480V/3 fases/60HZ (compatível com EUA) | ||||||
460V/3 fases/50HZ (em conformidade com a Ásia) | |||||||
380V/3 fases/50HZ (em conformidade com a UE-CE) | |||||||
PEGADA | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
PESO TOTAL | 7,0T | ||||||
PEGADA | (L*W*H) 5000*4000*4000MM | ||||||
TEMPO DE CICLO | 30~40 minutos (dependendo do material do substrato, geometria do substrato e condições ambientais) | ||||||
POTÊNCIA MÁX.. | 155KW | ||||||
CONSUMO MÉDIO DE ENERGIA (APROX.) | 75KW |
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