Máquina de Revestimento por Sputtering DC Magnetron, Sistema de Revestimento por Sputtering Planar Desequilibrado

Número de modelo:RTSP1200
Lugar de origem:Made in China
Quantidade de ordem mínima:1 conjunto
Termos do pagamento:L/C, T/T
Capacidade da fonte:6 grupos pelo mês
Tempo de entrega:12 semanas
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Endereço: ZONA INDUSTRIAL DA ESTRADA DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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Máquina de Revestimento por Sputtering DC Magnetron / Sistema de Sputtering DC


Modelos de magnetron sputtering: DC Sputtering, MF Sputtering, RF Sputtering


O que é DC Sputtering?


DC Sputtering usado principalmente para pulverizar alvos de metal puro como: Cromo, Titnio, Alumínio, Cobre, Aço Inoxidável, Níquel, Prata, Ouro para filmes de alta condutividade.


O DC Sputtering é uma técnica de revestimento de deposiço de vapor físico de filme fino (PVD) em que um material alvo a ser usado como o revestimento é bombardeado com moléculas de gás ionizado, fazendo com que os átomos sejam "pulverizados" no plasma.Esses átomos vaporizados so ento depositados quando se condensam como um filme fino sobre o substrato a ser revestido.


Sputtering DC é o tipo mais básico e barato de sputtering para deposiço de metal PVD e materiais de revestimento alvo eletricamente condutivos.Duas grandes vantagens do DC como fonte de energia para este processo é que ele é fácil de controlar e é uma opço de baixo custo se você estiver fazendo deposiço de metal para revestimento.

DC Sputtering é usado extensivamente na indústria de semicondutores criando circuitos de microchip no nível molecular.É usado para revestimentos de ouro de joias, relógios e outros acabamentos decorativos, para revestimentos no refletivos em vidros e componentes ópticos, bem como para plásticos metalizados de embalagens, espelhos de automóveis, refletores de iluminaço de automóveis, rodas e cubos de automóveis, etc.


Máquina de revestimento por pulverizaço catódica DC Magnetronatuaço

1. Presso de vácuo final: melhor que 5,0 × 10-6Torr.

2. Presso de Vácuo Operacional: 1,0×10-4Torr.

3. Tempo de bombeamento: de 1 atm a 1,0×10-4Torr≤ 3 minutos (temperatura ambiente, cmara seca, limpa e vazia)

4. Material de metalizaço (sputtering + evaporaço do arco): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, etc.

5. Modelo Operacional: Completo Automaticamente/Semi-Auto/ Manualmente


Estrutura da máquina de revestimento por pulverizaço catódica DC Magnetron

A máquina de revestimento a vácuo contém o sistema completo de chave listado abaixo:

1. Cmara de Vácuo

2. Sistema de Bombeamento a Vácuo Rouhging (Pacote de Bomba de Apoio)

3. Sistema de bombeamento de alto vácuo (bomba molecular de suspenso magnética)

4. Sistema Elétrico de Controle e Operaço

5. Sistema de Instalaço Auxiliar (Subsistema)

6. Sistema de deposiço: cátodo de pulverizaço DC, fonte de alimentaço DC, fonte de íon da fonte de alimentaço de polarizaço para opcional


Máquina de revestimento por pulverizaço catódica DC MagnetronEspecificações

RTSP1250-DC
MODELORTSP1250-DC
TECNOLOGIASputtering Magnetron (DC) + Chapeamento de Íons
MATERIALAço inoxidável (S304)
TAMANHO DA CMARAΦ1250*H1250mm
TIPO DE CMARACilindro, vertical, 1 porta
SISTEMA DE PULSAÇODesign exclusivo para deposiço de filme preto fino
MATERIAL DE DEPOSIÇOAlumínio, Prata, Cobre, Cromo, Aço Inoxidável, Níquel, Titnio
FONTE DE DEPOSIÇOAlvos de Sputtering Cilíndricos / Planares + 7 Fontes de Arco Catódico Direcionado
GÁSMFC- 4 vias, Ar, N2, O2, C2H2
AO CONTROLECLP (Controlador Lógico Programável) +
Tela sensível ao toque
SISTEMA DE BOMBASV300B - 1 conjunto (Leybold)
WAU1001 - 1 conjuntos (Leybold)
D60T- 2 conjuntos (Leybold)
Bombas Moleculares Turbo: 2* F-400/3500
PRÉ-TRATAMENTOFonte de alimentaço de polarizaço: 1*36 KW
SISTEMA DE SEGURANÇANumerosos intertravamentos de segurança para proteger os operadores
e equipamento
RESFRIAMENTOÁgua fria
ENERGIA ELÉTRICA480V/3 fases/60HZ (compatível com EUA)
460V/3 fases/50HZ (em conformidade com a Ásia)
380V/3 fases/50HZ (em conformidade com a UE-CE)
PEGADAL3000*W3000*H2000mm
PESO TOTAL7,0T
PEGADA(L*W*H) 5000*4000*4000MM
TEMPO DE CICLO30~40 minutos (dependendo do material do substrato,
geometria do substrato e condições ambientais)
POTÊNCIA MÁX..155KW
CONSUMO MÉDIO DE ENERGIA (APROX.)75KW

Temos mais modelos para sua seleço!


Entre em contato conosco para obter mais especificações, a Royal Technology tem a honra de fornecer soluções totais de revestimento.


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