Add to Cart
Engasgar do sistema do depósito do filme fino de PVD e equipamento de evaporaço térmico do revestimento de vácuo
Sistema do depósito do filme fino de PVD, engasgar e equipamento de evaporaço térmico do revestimento de vácuo
O sistema do depósito do filme fino de PVD contém as fontes do depósito de fontes do salpico da fonte da evaporaço do filamento do tungstênio e do magnétron da C.C. (o RF que engasga cátodos é para a opço). Este equipamento é usado na maior parte para depositar filmes finos em partes, no vidro, no metal ou em folhas plásticas com os materiais de depósito como: Al do metal, Cr, Cu, AG, Au, fontes puros da evaporaço do si etc. geralmente para obter filmes finos reflexivos altos em superfícies dos produtos ou filmes condutores, ou para dar uma imagem metálica da probabilidade. Salvo que, as fontes engasgar condensam uma vasta gama de materiais e de dielétricos do semicondutor que incluem óxidos condutores transparentes, etc.
Configurações de sistema do depósito do filme fino de PVD:
Desempenho
1. Presso final do vácuo: melhore do que os Torr 5.0×10-6.
2. Presso de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.
3. Bombeando o tempo ocioso da máquina de 1 atm aos minutos de 1.0×10-4 Torr≤3 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a cmara)
4. Metalizando o material (evaporaço): Al, Cr, Sn, si, SS, Cu… etc.
5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
estrutura do l
A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:
1. Cmara de vácuo
1,1 tamanho: Dimetro interno 1600mm
Altura interna 1600mm
1,2 material: Cmara de vácuo SUS304 (aço SS41 suave para a opço)
Porta e flanges SUS304 (aço SS41 suave para a opço)
A cmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminaço pintado.
Aço suave do chassi SS41 da cmara com tratamento de superfície de terminaço pintado.
1,3 protetor: SUS304
1,4 janela da vista: na porta da cmara
1,5 válvula de ventilaço da cmara de vácuo, incluindo o silenciador
1,6 material da porta SUS304
2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto
4. Tela táctil bonde do sistema PLC+ do controle e da operaço
4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série
4,2 poder da evaporaço: 35kVA
4,3 sistema de controlo da evaporaço
4,4 sistema da operaço: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuaço, auto revestimento
4,5 sistema de mediço da presso do vácuo
Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre
Calibre do par termoelétrico: 760 Torr ~ Torr 5*10-4
4,6 sistema de alarme: Presso de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operaço
4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tenso e indicador da corrente da carga
5. Sistema do depósito
5,1 fonte da evaporaço do filamento do tungstênio
5,2 materiais térmicos da evaporaço: fios, anéis, hastes etc.
5,3 fontes do salpico (poder de DC/MF conduzido)
6. Subsistema
6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar
6,2 sistema da válvula da tubulaço e do interruptor do fluxo da Sistema-água da água refrigerando
Aprenda mais sobre a máquina e as aplicações disponíveis, contacte-nos por favor agora.