Magnétron de cobre que engasga a máquina de revestimento/o magnétron vácuo alto que engasga o sistema do depósito

Número de modelo:RTSP
Lugar de origem:Feito em China, Shanghai
Quantidade de ordem mínima:1
Tempo de entrega:16 semanas
Detalhes de empacotamento:1 * 40HQ
Tecnologia:Magnétron de DC/MF que engasga o cátodo
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Endereço: ZONA INDUSTRIAL DA ESTRADA DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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Cobre/alumínio/carbono que engasga o equipamento, magnétron do vácuo alto que engasga o sistema do depósito

 

UHV que engasga o sistema do depósito usa os cátodos engasgar como as fontes do depósito de PVD. Comibled sempre o salpico do MF e os salpicos da C.C. para aplicações indstrial do revestimento de PVD. Baseado em alvos diferentes e em engasgar os pedidos da velocidade do depósito, a tecnologia real fornece salpicos cylidrical e cátodos planares do salpico, principalmente para que as taxas de depósito rápidas satisfaçam a procura do revestimento da produço industrial. 

 

 

Nosso magnétron do vácuo alto que engasga o sistema do depósito é projetado para o cobre, alumunium, plástico, chapeamento condutor da camada do filme da placa de circuito do metal. Pode condensar o filme fino Nano em carcaças. Exceto o AG que engasga, pode igualmente depositar Ni, Au, AG, Al, Cr, alvos de aço inoxidável.

Pode filmes altos da uniformidade do deposite em várias carcaças: o panle plástico, panle do PC, folha de alumínio, folhas cermicas, Al2O3 cermico, AlN, silicone cobre etc. 

 

 

RTSP1215 que engasga a disposiço do equipamento do revestimento

 

 

Série de RTSP que engasga aplicações do equipamento do revestimento:

 

1. Disponível em carcaças de: Folhas do plástico, do polímero, as de vidro e as cermicas, folha de aço inoxidável, de cobre, placa de alumínio etc.

 

2. Para gerar o filme Nano goste: Lata, tique, TiCN, Cr, centro de detecço e de controlo, CrN, Cu, AG, Au, Ni, Al etc.

 

 

Série de RT-SP que engasga características de projeto do equipamento do revestimento:

 

1. Projeto robusto, bom para espaço limitado da sala

2. Acesso fácil para a manutenço e o reparo

3. Sistema de bombeamento rápido para o rendimento alto

4. O cerco bonde padro do CE, padro do UL está igualmente disponível.

5. Obra exata da fabricaço

6. Corredor estável para garantir a produço de alta qualidade do filme.

 

 

A fonte de íon é original da empresa de Gencoa, as propriedades:

 

1. Campo magnèticos aperfeiçoados para produzir um feixe colimado do plasma no padro que engasga pressões

2. Regulamento automatizado para que o gás mantenha a corrente & a tenso constantes – controle do automóvel do multi-gás

3. nodo e cátodo da grafite para proteger a carcaça da contaminaço e para fornecer componentes da longa vida

4. Isolaço elétrica padro do RF em todas as fontes de íon

5. Refrigerar indireto do nodo e do cátodo – interruptor rápido das peças

6. Interruptor fácil das peças do cátodo para fornecer armadilhas magnéticas múltiplas para a operaço de mais baixa tenso, ou um feixe focalizado

7. A tenso regulou a fonte de alimentaço com feedback do ajuste do gás para manter a mesma corrente em todas as vezes

 

 

Magnétron do vácuo alto que engasga especificações técnicas do sistema do depósito:

 

MODELORT1215-SP
MATERIALDe aço inoxidável (S304)
TAMANHO DA CMARAΦ1200*1500mm (h)
TIPO DA CMARAestrutura 1-door, vertical
ÚNICO PACOTE DA BOMBABomba giratória de VaneVacuum
Bomba de vácuo de raizes
Bomba molecular da suspenso magnética
Bomba de vácuo giratória de duas fases da aleta
TECNOLOGIAMagnétron que engasga, fonte do MF de íon linear
FONTE DE ALIMENTAÇOEngasgando a fonte de alimentaço + fonte de alimentaço + fonte de íon diagonais
FONTE DO DEPÓSITO4 pares do MF que engasga salpicos dos cátodos + da fonte + da C.C. de íon
CONTROLETela de PLC+Touch
GÁSGás medidores de fluxo maciço (AR, N2, C2H2, O2) argônio, nitrogênio e Ethyne, oxigênio
SISTEMA DE SEGURANÇAInterruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento
REFRIGERARÁgua refrigerando
LIMPEZADescarga de fulgor/fonte de íon
MÁXIMO DO PODER.120KW
CONSUMO DE POTÊNCIA MÉDIA70KW

 

Cobre/alumínio/carbono que engasga componentes-chave do equipamento:

 

1. Sistema de bombeamento forte: Bombas do revestimento protetor de Leybold + bomba molecular da suspenso magnética de Osaka

 

2. Sistema de distribuiço do armário da água/gás 

 

3. Engasgando o sistema de distribuiço dos cátodos

 

 

Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.

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