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Máquina de revestimento indutiva da evaporaço
Sumário:
O aquecimento de induço é amplamente utilizado nos campos diferentes devido produtividade e universalidade altas do processo, na limpeza e na possibilidade de automatizaço completa. Como um método da tecnologia térmica da evaporaço de PVD, o processo é amigável para o ambiente. Desde que a induço reserva alcançar a temperatura de 2000℃ e de mais, este método é muito apropriado para a produço industrial e as pesquisas científicas.
A máquina de revestimento da evaporaço da induço RTEP0404 é projetada para o depósito C60 de evaporaço varia sobre dos materiais. C60 fabrica fornece o R&D e os resultados de testes para em perspectiva. Uma ferramenta forte que ajuda a lhes a expandir indústrias aplicadas novas.
O primeiro grupo é produzido para a universidade de Shanghai. O modelo da produço industrial está sob o processamento.
Aplicações principais:
Para depositar sobre camadas e revestimentos do filme fino
Tipo:
Orientaço vertical, modelo do frasco de Bell, abertura superior
Características de projeto:
Especificações técnicas:
1. Presso final do vácuo: melhore do que Pa 9.0*10-5;
Presso baixa do vácuo: Pa 3.0*10-4
3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: de 1 atm aos minutos de 2.0×10-3 Pa≤25 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a cmara)
4. Fonte do depósito: evaporador da induço, cadinho
5. Modelo de funcionamento: Manualmente
6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 1000℃,
7. Poder da evaporaço: Radiofrequência do RF e fonte de alimentaço
8. Gás de trabalho: AR
A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:
1. Cmara de vácuo
1,1 tamanho: Dimetro interno 400mm
Altura interna: 400mm
1,2 material: Cmara de vácuo SUS304
A cmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminaço pintado.
Aço suave do chassi SS41 da cmara com tratamento de superfície de terminaço pintado.
1,3 protetor da evaporaço: SUS304
1,4 janela da vista: na porta da cmara
1,5 válvula de ventilaço da cmara de vácuo (que inclui o silenciador)
2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de aleta giratória do óleo de duas fases
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto: Bomba molecular do turbocompressor
4. Unidade elétrica da operaço do sistema HMI do controle e da operaço
4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série
4,2 poder da evaporaço
4,3 sistema de controlo da evaporaço
4,4 sistema da operaço: PLC
4,5 sistema de mediço
Presso do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre
4,6 sistema de alarme: Presso de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operaço
4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tenso e indicador da corrente da carga
5. sistema do depósito
5,1 fonte do depósito: evaporador do thermal da induço
5,2 material do depósito: C60
6. Subsistema
6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar
6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulaço e do interruptor do volume de água
6,3 gás de trabalho: AR (>99.99%)
7. Ambiente de trabalho
Ar comprimido: 5~8kg/cm2
Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na presso: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, consumo de potência média: 3kVA
Área da instalaço: (L*W*H) 2000*200*2000mm
Exausto: Respiradouro para as bombas mecnicas
Automaticamente puxando a unidade de Up-Down para abrir/próximo a cmara
Sistema bonde do cerco:
Pontas da segurança:
Proteço de Shileding da radiaço do RF
Nós fomos esforçamo-nos projetar e para desenvolver o sistema de revestimento o mais apropriado que encontram nossa qualidade alta da eficiência e do revestimento da produço do cliente pede.
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