Máquina do chapeamento do cobre PVD do óxido de alumínio, chapeamento de cobre em folhas cerâmicas, sistema de cobre de PVD do depósito

Número de modelo:RTAS900
Lugar de origem:Made in China
Quantidade de ordem mínima:1 conjunto
Termos do pagamento:L/C, D/A, D/P, T/T
Capacidade da fonte:10 conjuntos por mês
Tempo de entrega:16 semanas
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Endereço: ZONA INDUSTRIAL DA ESTRADA DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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                     Máquina do chapeamento de cobre de óxido de alumínio, chapeamento de cobre de PVD em folhas cermicas,  

 

Palavras-chaves: Dirija o cobre chapeado, DPC, chapeamento de cobre cermico, revestimentos duros de PVD, processo de PECVD, filme de DLC, diamante como o filme do carbono, engasgando o filme ótico, magnétron de Gencoa engasgando o cátodo, fonte de íon, PA PVD

 

 

Características de projeto de RTAC950-SP:

  • Flexibilidade: as fontes do arco e do salpico, flanges de montagem lineares dos dispositivos da fonte de íon so estandardizadas para a troca flexível
  • Versatilidade: disponível para a variedade do depósito de metais e ligas baixas, revestimentos óticos e revestimentos duros, revestimentos macios. Filmes compostos e filmes de lubrificaço contínuos nas carcaças metálicas e no metálicas dos materiais
  • Projeto direto: estrutura de porta 2, parte dianteira e abertura traseira para a manutenço fácil

 

 

Especificações técnicas

  • Desempenho

1. Presso final do vácuo: melhore do que Pa 8.0*10-4;

  • Baseie a presso do vácuo: Pa 3.0*10-2

3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm aos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a cmara)

4. Fonte do depósito: Magnétron de Gencoa que engasga cátodos, cátodos dirigidos do arco, fonte de íon

5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente

6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 500℃,

9. Fonte de íon para o processo de PECVD e de PA PVD.

  • Estrutura

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

 

1. Cmara de vácuo
1,1 tamanho: Profundidade interna 950mm

Altura interna: 1350mm

1,2 material: Cmara de vácuo SUS304

Porta e flanges SUS304

A cmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminaço pintado.

Aço suave do chassi SS41 da cmara com tratamento de superfície de terminaço pintado.

1,3 protetor da cmara: SUS304

1,4 janela da vista: em portas da cmara -2

1,5 válvula de ventilaço da cmara de vácuo (que inclui o silenciador)

1,6 porta: 2 grupos, partes dianteiras e partes traseiras, material SUS304

 

2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de vácuo giratória da aleta do óleo + guardando a bomba

 

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto:

Bomba molecular do turbocompressor - 2 grupos

 

4. Sistema bonde de ScreenOperation do toque do sistema PLC+ do controle e da operaço:

Fornecedores:

PLC: Mitsubishi, modelo: SÉRIE FX-IN60MR-001

Componentes eletrônicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de proteço da segurança: Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento (água, gás atual, temperatura etc.)

O revestimento processa o sistema: Automatizaço & controle de processo. Salvar automaticamente na memória por 3 meses. Dados de revestimento caracterizados das receitas: a corrente da operaço do alvo/tenso, fluxo maciço, presso do vácuo, temperatura, épocas de revestimento salvar para que uma análise aumente a qualidade dos revestimentos.

4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 fonte de alimentaço: MF que engasga o poder do arco do poder + da C.C. + fonte de alimentaço diagonal

4,3 sistema de controlo do depósito

4,4 sistema da operaço: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuaço, auto revestimento

4,5 sistema de mediço

Presso do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa

Dispositivo de mediço da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras),

4,6 sistema de alarme: Presso de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operaço

4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tenso e indicador da corrente da carga

 

5. sistema do depósito

5,1 fonte do depósito: Engasgando fontes do arco de cathodes+ + fonte de íon

5,2 material do depósito: ITO, titnio, Chrome, alumínio, de aço inoxidável, TiAl etc.

 

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulaço e do interruptor do volume de água

 

7. Ambiente de trabalho

Ar comprimido: 5~8kg/cm2

Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na presso: 2~3 kg/cm2,

 

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de potência média: 60KW

Área da instalaço: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Exausto: Respiradouro para as bombas mecnicas

 

Aplicações

 

 

 

 

 

Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.

 

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