Magnétron do metal do ouro da lata que engasga a máquina de revestimento, serviço de chapeamento do ouro do ZRN

Número de modelo:RTAS1250
Lugar de origem:Made in China
Quantidade de ordem mínima:conjunto de 10
Termos do pagamento:L/C, D/A, D/P, T/T
Capacidade da fonte:6 grupos pelo mês
Tempo de entrega:12 semanas
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Endereço: ZONA INDUSTRIAL DA ESTRADA DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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Ouro TiN Metal Máquina de revestimento de pulverizaço por magnétono de frequência média / sistema de pulverizaço por pulverizaço MF
 
 
 
O revestimento de vácuo por pulverizaço de magneto é um tipo de método de tratamento de superfície de PVD Ion Plating. Pode ser usado para a produço de filmes condutores ou no condutores, em muitos tipos de materiais: metais,vidroO conceito de deposiço por pulverizaço: o material de revestimento (alvo, também denominado cátodo) e as peças de trabalho (substratos,também chamados de nodo) so colocados na cmara de vácuo e a presso é reduzidaA pulverizaço é iniciada colocando o alvo sob um diferencial de tenso e introduzindo gás argônio que forma íons de argônio (descarga luminosa).Os íons argônio aceleram em direço ao alvo do processo e deslocam os átomos alvoEstes átomos de pulverizaço so ento condensados no substrato e formam uma camada muito fina e de elevada uniformidade.ou acetileno em gases de pulverizaço durante o processo de revestimento.
 
Modelos de pulverizaço por magneto: pulverizaço por corrente contínua, pulverizaço por MF, pulverizaço por RF
 
O que é o MF Sputtering?
 
Em comparaço com a pulverizaço de corrente contínua e RF, a pulverizaço de média frequência tornou-se a principal técnica de pulverizaço de filme fino para produço em massa de revestimento,especialmente para a deposiço em película de revestimentos de película dielétricos e no condutores em superfícies como revestimentos ópticos, painéis solares, camadas múltiplas, filme de material composto, etc.
Ele está substituindo o pulverizaço de RF devido ao fato de operar com kHz em vez de MHz para uma taxa de deposiço muito mais rápida e também pode evitar o envenenamento do alvo durante a deposiço de filme fino composto como DC.
 
Os alvos de pulverizaço MF sempre existiram com dois conjuntos. Two cathodes are used with an AC current switched back and forth between them which cleans the target surface with each reversal to reduce the charge build up on dielectrics that leads to arcing which can spew droplets into the plasma and prevent uniform thin film growth--- which is what we called Target Poisoning.
 
Desempenho do sistema de pulverizaço MF
1Presso de vácuo final: superior a 5,0 × 10-6Torr.
2Presso de vácuo de funcionamento: 1,0 × 10-4Torr.
3. Tempo de bombeamento: de 1 atm para 1,0 × 10-4Torr≤ 3 minutos (temperatura ambiente, cmara seca, limpa e vazia)
4Material metalizante (espuma + evaporaço por arco): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, etc.
5Modelo de funcionamento: automático completo/semiautomático/manual
 
Estrutura do sistema de pulverizaço MF
A máquina de revestimento a vácuo contém o sistema completado chave listado abaixo:
1Cmara de vácuo
2. Sistema de bombeamento de vácuo (pacote de bombeamento de apoio)
3Sistema de bombeamento a vácuo elevado (bomba molecular de suspenso magnética)
4Sistema elétrico de controlo e operaço
5Sistema de instalações auxiliares (subsistema)
6Sistema de deposiço: catodo de pulverizaço MF, fonte de alimentaço MF, fonte de iões de alimentaço Bias para opcional
 
Especificações do sistema de pulverizaço de MF RTSP1212-MF
 

ModeloRTSP1212-MF
TECNOLOGIAMF Magnetron Sputtering + Ion Plating
MateriaisAço inoxidável (S304)
Tamanho da cmaraΦ1250*H1250mm
Tipo de cmaracilindro, vertical, de uma porta
Sistema de pulverizaçoDesenho exclusivamente para deposiço de película fina preta
MATERIAL DE DEPÓSITOAlumínio, prata, cobre, cromo, aço inoxidável,
Níquel
Fonte de depósito2 conjuntos de alvos de pulverizaço cilíndrica MF + 8 fontes de arco catódico dirigido
GASMFC- 4 vias, Ar, N2, O2, C2H2
ControlePLC ((Controller lógico programável) +
Sistema de bombagemSV300B - 1 conjunto (Leybold)
WAU1001 - 1 conjunto (Leybold)
D60T- 2 conjuntos (Leybold)
Bombas Turbo Moleculares: 2* F-400/3500
PRÉ-TRATAMENTOFonte de alimentaço de distorço: 1*36 kW
Sistema de segurançaNumerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores
FrigorificaçoÁgua fria
Energia ELÉTRICA480V/3 fases/60HZ (conforme aos EUA)
460V/3 fases/50HZ (compatível com a Ásia)
380V/3 fases/50HZ (conforme CE UE)
Impresso de PedaçoL3000*W3000*H2000mm
Peso total7.0 T
Impresso de Pedaço(L*W*H) 5000*4000*4000 MM
TEMPO DO CÍCULO30 a 40 minutos (dependendo do material do substrato,
geometria do substrato e condições ambientais)
O Power Max...155 kW

Potência média
CONSUMO (aproximadamente)

75 kW





 
 
 
 
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