AlN Chips Copper Sputtering Depostion System, máquina de chapeamento direta do cobre do nitreto de alumínio

AlN Chips Sistema de deposiço de pulverizaço de cobre, Nitreto de alumínio PVD máquina de pulverizaço de cobre

Desempenho

1Presso de vácuo final: superior a 5,0 × 10^-6Torr.

2Presso de vácuo de funcionamento: 1,0 × 10^-4Torr.

3. Tempo de bombeamento: de 1 atm para 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 minutos (temperatura ambiente, cmara seca, limpa e vazia)

4Material metalizante (esputamento + evaporaço por arco): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, etc.

5Modelo de funcionamento: automático completo/semiautomático/manual

Estrutura

A máquina de revestimento a vácuo contém o sistema completado chave listado abaixo:

1Cmara de vácuo

2. Sistema de bombeamento de vácuo (pacote de bombeamento de apoio)

3Sistema de bombeamento a vácuo elevado (bomba molecular de suspenso magnética)

4Sistema elétrico de controlo e operaço

5Sistema de instalações auxiliares (subsistema)

6Sistema de deposiço

Características principais da máquina de revestimento por pulverizaço de cobre

1Equipado com 8 cátodos de arco de direcço e cátodos de pulverizaço em corrente contínua, cátodos de pulverizaço MF, unidade de fonte de íons.

2- Disponível revestimento de múltiplas camadas e de co-deposiço

3Fonte de íons para pré-tratamento de limpeza de plasma e deposiço assistida por feixe de íons para melhorar a adeso do filme.

4- Unidade de aquecimento de substratos cermicos/Al2O3/AlN;

5Sistema de rotaço e revoluço do substrato, para revestimento de um lado e revestimento de dois lados.

Instalaço de revestimento por pulverizaço por magnetron Cooper em substrato de radiaço cermica

O processo de DPC- Direct Plating Copper é uma tecnologia avançada de revestimento aplicada s indústrias de LED / semicondutores / eletrônicos.

Deposiço de uma película condutora de cobre em substratos de Al2O3, AlN, por tecnologia de pulverizaço a vácuo PVD, em comparaço com os métodos de fabrico tradicionais: DBC LTCC HTCC,O custo de produço muito mais baixo é a sua característica elevada.

A equipa de tecnologia real ajudou o nosso cliente a desenvolver o processo DPC com sucesso com tecnologia de pulverizaço PVD.

A máquina RTAC1215-SP concebida exclusivamente para revestimento de película condutora de cobre em chips cermicos, placas de circuitos cermicos.

Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.

A Shanghai Royal Technology Inc. foi criada em 2006, fornecedora mundial de equipamentos de vácuo de alta qualidade com locais-chave em todo o mundo.A tecnologia de investigaço e desenvolvimento é apoiada por engenheiros especializados nos Estados Unidos e na China.As instalações de fabricaço de máquinas de alta tecnologia esto localizadas em Xangai e a nossa rede global de centros de serviço assegura uma resposta rápida ao serviço ao cliente em locais-chave.

A Shanghai Royal Technology tem um forte impulso para o design inovador e a selecço de componentes de alta qualidade,combinado com um processo de montagem muito cuidadoso e uma equipa de topo de técnicos e inventores talentosos, que nos permitem oferecer soluções de revestimento chave na mo com equipamento de vácuo de alto padro, que atende e muitas vezes excede o padro ocidental.Estamos determinados a servir o mercado mundial em várias indústrias, tais como:

Eletrónica de consumo, automóveis, energia renovável, arquitetura, nanotecnologia e materiais biomédicos.

Modelo RTAS, equipamento de série integrado de arco e pulverizaço pode produzir películas pretas e de bronze altamente refletoras especificamente para revestimentos decorativos de alta qualidade.

RTSP1200-FCEV, é um sistema de pulverizaço com processo PECVD para depositar uma película fina em módulos de energia de célula de combustível de hidrogênio.Veículos a célula de combustível é a mais recente tecnologia para a próxima geraço de carros ecológicosA principal vantagem e o progresso tecnológico em comparaço com as baterias comumente utilizadas, como a célula seca, é a necessidade de passar por um processo de recarga recorrente.Mas os módulos de energia de célula de combustível de hidrogénio só exigem reaço de hidrogénio e oxigénio para gerar energia para conduço.

RTSP1200-DPC,Este sistema de revestimento é usado exclusivamente para o processo de substratos cermicos DPC (Direct Plating Copper). Os substratos cermicos DPC so amplamente utilizados em várias aplicações:Por exemplo, em LED de alto brilho para aumentar a longevidade devido ao seu alto desempenho de radiaço térmica, equipamento de semicondutores, em comunicaço sem fio de microondas, eletrônica militar, vários substratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviário, energia elétrica e muito mais.

RT-CsI950, A planta de revestimento por evaporaço é aplicada deposiço de filme CsI para dispositivos de imagem de raios-X. É uma técnica avançada para evaporar o CsI na tela para criar imagens de alta qualidade.O desempenho de alta resoluço permite que esta aplicaço seja extremamente eficiente e perturbadora no instrumento médico, indústria da energia nuclear, controlo e inspecço de segurança, matérias de física de alta energia e muito mais.

A Shanghai Royal Technology também projetou e desenvolveu com sucesso o sistema de metalizaço de vácuo de alumínio de grande tamanho de modelo de cubo e cilindro, que é usado para revestimento de placas de logotipo automotivo.

Viver localmente, pensar globalmente é a nossa viso.Sempre empenhados em inovaço para alcançar situações de ganho mútuo no nosso ecossistema de parceiros mundiaisComo pioneiros na indústria de equipamentos de revestimento a vácuo, nunca confiamos em realizações anteriores.Mas continuamente tentamos explorar o mundo em constante mudança da indústria de revestimento de vácuo para sempre criar otimizado econômico, benefícios sociais e ambientais para os nossos clientes.

A cultura da tecnologia real

A Viso do ROYAL:Ser o fornecedor de marca mundialmente famoso de fornecer soluções totais para os requisitos dos clientes.

Misso REAL:protege o ambiente, salva o nosso planeta azul; para melhorar os trabalhadores ambiente de trabalho difícil, aumentar a eficiência do trabalho, ajudar completamente os proprietários a reduzir os custos de produço.

Filosofia da Royal:A Comisso propõe que os Estados-Membros desenvolvam um programa de investigaço e desenvolvimento com o objectivo de promover o desenvolvimento da investigaço e desenvolvimento.

Valor do REAL:Inovaço, tecnologias avançadas e P&D, a serviço da China e das indústrias manufatureiras do mundo.

Serviço da RAYAL:Serviço ONE-STOP, com tecnologia e produtos excelentes, dedicaço profissional para servir os nossos clientes.