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Máquina de revestimento por pulverizaço PVD de tntalo, películas de tntalo depositadas por pulverizaço por magneto DC, revestimento PVD de tntalo
O tntalo é mais amplamente utilizado na indústria eletrônica e como revestimento protetor em muitas indústrias devido sua boa resistência eroso.
Os filmes de tntalo pulverizados so amplamente utilizados na
1- indústria da microelectrónica, uma vez que as películas podem
ser pulverizadas de forma reativa e, assim, a resistividade e o
coeficiente de temperatura da resistência podem ser controlados;
2Instrumentos médicos como implantes corporais pela sua elevada biocompatibilidade;
3- revestimentos de peças resistentes corroso, tais como termo-poços, corpos de válvulas e elementos de fixaço;
O tntalo pulverizado pode também ser utilizado como uma barreira de resistência corroso eficaz se o revestimento for contínuo, defeituoso e aderente ao substrato..
RTAS1000 Vantagens técnicas
1Plug-in Sistema de design integrado para instalaço rápida
2. Siemens PLC,CPU; com hardware de operaço e controlo de PC industrial
3Disponível para monitorizaço e diagnóstico remoto.
4. Flexível, pronto para atualizaço
5Múltiplos cátodos para velocidade de deposiço rápida
Mais benefícios da máquina:
Design robusto, qualidade estável, ciclo rápido, tempo de ciclo rápido, alta velocidade de deposiço
Configurações principais | |
Modelo | RTAS1000 |
TECNOLOGIA | Pulverizaço por magnetron DC + revestimento por arco catódico |
Material da cmara | Aço inoxidável (S304) |
Tamanho da cmara | Φ1000*1000 mm (H) |
Tipo de cmara | Forma D, cmara cilíndrica |
RECK DE ROTAÇO e SISTEMA JIG | Sistema de conduço por satélite ou sistema de conduço central |
Fontes de energia | Fornecimento de energia de pulverizaço em corrente contínua: 2 ~ 4 conjuntos Bias Fornecimento de energia: 1 conjunto Arco Fornecimento de energia: 11 conjuntos |
MATERIAL DE DEPÓSITO | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu, etc. |
Fonte de depósito | Cátodos de pulverizaço plana + cátodos de arco circular Observaço: pode utilizar-se um pulverizador de corrente contínua cilíndrico |
Controle | PLC ((Controller lógico programável) + Ecr táctil (modelos de operaço manual + automática + semi-automática) |
Sistema de bombagem | Bomba de válvula rotativa: SV300B - 1 conjunto (Leybold) |
Bomba de raízes: WAU1001 - 1 conjunto (Leybold) | |
Bomba de retenço: D60C - 1 conjunto (Leybold) | |
Bomba molecular de suspenso magnética: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
Controlador de fluxo de massa de gás | 4 canais, fabricado na China, modelo digital Seven Star (série CS, ) (Ar, N2, O2, C2H2) |
Método de vácuo | Modelo: ZDF-X-LE, fabricado na China |
Sistema de segurança | Numerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores e os equipamentos |
Aquecimento | Caldeiras: 20 kW. Temperatura máxima: 450°C |
Frigorificaço | Frigorífico industrial (água fria) |
Power Max. | 100 kW (aprox.) |
Consumo médio de energia | 45 KW (aprox.) |
Peso bruto | T (aproximadamente) |
PRENTA DE PÉ | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
Energia ELÉTRICA | Linha AC 380V/3 fases/50HZ / 5 |
Cátodos de pulverizaço cilíndrica Cátodos de pulverizaço plana
Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.
Faça o download da brochura aqui:Sistema de deposiço por pulverizaço de magneto.pdf
Aplicaço do sistema de deposiço por pulverizaço magnética...