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A série de RTAS é uma máquina de fontes múltipla integrada do depósito s cores
gerais da grafite, do negro como o azeviche, as azuis, as de cobre
e as de bronze nas peças de metal, objetos de aço inoxidável. Usado
particularmente para as peças luxuosas da classe da parte alta.
Aplicaço padro
Joia, correias de relógio e corpos, esportes de aço inoxidável, escrevendo instrumentos
Produtos eletrónicos de consumo: Telefone celular, portátil, cmera, zangões
As máquinas de RTAS equipadas com o arco circular e o cilindro que
engasgam fontes do depósito. Combinações múltiplas de C.C. que
engasgam, engasgar do MF, evaporaço do arco e fonte de íon etc.
Todos esto disponíveis em uma única máquina, para uma flexibilidade
alta nas configurações satisfazer várias aplicações. Especialmente
para revestimentos estéticos dos componentes pequenos: cores do
negro como o azeviche, do cobre, do bronze e do cromo.
Que o MF está engasgando?
Comparado com a C.C. e o RF que engasgam, engasgar da Meados de-frequência transformou-se um filme fino principal que engasga a técnica para a produço em massa de revestimento, particularmente para o depósito do filme de revestimentos dielétricos e no-condutores do filme em superfícies tais como os revestimentos óticos, os painéis solares, as camadas múltiplas, o filme material composto etc.
Está substituindo engasgar do RF devido a ele operou-se com quilohertz um pouco do que o megahertz para uma taxa de depósito muito mais rápida e igualmente pode evitar o envenenamento do alvo durante o depósito do filme fino do composto como a C.C.
O MF que engasga alvos existiu sempre com dois-grupos. Dois cátodos
so usados com uma corrente da C.A. comutaram para a frente e para
trás entre eles que limpe a superfície do alvo com cada reverso
para reduzir a carga para se acumular em dielétricos que ligações a
formar arcos que pode vomitar gotas no plasma e impedir o
crescimento de filme fino uniforme que é o que nós chamamos Alvo
Envenenamento.
Specificaitons técnico
No. | Nome |
1 | Sistema de bombeamento do vácuo: Bomba molecular do turbocompressor + bomba mecnica das raizes Pump+ + guardando a bomba |
2 | Sistema de mediço do vácuo: Pirani + encerrando calibres |
3 | Sistema de aquecimento: calefatores para as carcaças que aquecem-se acima para melhorar a adeso |
4 | Água/sistema comprimido da distribuiço de ar: projeto modular e fabaricated |
5 | Cilindro que engasga cátodos: 2/4/6/8 de par de alvos dos gêmeos para a opço |
6 | Válvula de porta do vácuo (como a opço) |
7 | Cerco elétrico (padro do CE) |
8 | Cmara de vácuo (SS304/316L como pedido) |
9 | Fonte catódica do arco (cátodos convencionais do arco) |
10 | Porto da vista (2 distribuídos na porta para a inspeço para dentro da cmara do depósito) |
11 | Processando o sistema de distribuiço do gás (controlador do fluxo de medidor para 4 canais) |
12 | Sistema de conduço da cremalheira (modelo de conduço planetário) |
13 | Carrossel |
Descriço | RTAS1250 | RTAS1612 |
Cmara do depósito (milímetros) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
Conduço planetária Área eficaz do revestimento (milímetros) | 8: φ270*H850 10: φ230*H850 | 10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
Cátodo circular do arco (grupos) | 7 | 12 |
Cilindro que engasga cátodos (pares) | 3 /4 | 4 / 6 |
Poder diagonal pulsado (Quilowatt) | 36 | 48 |
C.C./MF que engasga o poder (quilowatts) | 36 | 4*36 |
Poder do arco (quilowatts) | 7*5 | 12*5 |
Bombas de vácuo | Bombas moleculars do turbocompressor 2* 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 | Bombas moleculars do turbocompressor 3* 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
Consumo de potência máximo (quilowatts) | 200 | 245 |
Consumo de potência média (quilowatts) | <75> | <100> |
Espaço da operaço (L*W*H) milímetro | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Configurações flexíveis: a máquina é ajustada de acordo com
exigências de revestimento dos processos e de clientes
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