Sistema do depósito de vácuo de PVD+PECVD, revestimento do filme de DLC pelo processo de PECVD

Tecnologia Real Multi950
Máquina de deposiço a vácuo PVD + PECVD

A máquina Multi950 é um sistema de deposiço a vácuo de múltiplas funções personalizado para P&D.

Após intensos intercmbios com a equipa da Universidade de Xangai, liderada pelo Professor Chen, finalmente confirmámos o projecto e a configuraço para cumprir as suas aplicações de I&D.Este sistema é capaz de depositar filme DLC transparente com o processo PECVDCom base neste conceito de concepço da máquina piloto, desenvolvemos posteriormente outros 3 sistemas de revestimento:

1. Revestimento de placas bipolares para veículos elétricos a célula de combustível- FCEV1213

2. Cobre cermico diretamente revestido- DPC1215

3Sistema de pulverizaço flexível - Sistema de chapeamento de ouro de PCB de cobre

Estas três máquinas possuem todas uma cmara octogonal, que permite um desempenho flexível e fiável em várias aplicações.,Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais no ferromagnéticos.Melhora eficientemente a adeso das películas em diferentes materiais de substrato com o seu desempenho de gravaço por plasma e, o processo PECVD para depositar algumas camadas de carbono.

O Multi950 é o marco dos sistemas de revestimento de design avançado da Royal Technology.Obrigado aos estudantes da Universidade de Xangai e ao Professor Yigang Chen que os liderou com sua dedicaço criativa e altruísta., fomos capazes de converter a sua informaço valiosa numa máquina de última geraço.

No ano de 2018, tivemos outro projeto de cooperaço com o Professor Chen,
A deposiço do material C-60 pelo método de evaporaço térmica por induço.
O Sr. Yimou Yang e o Professor Chen foram fundamentais para estes projetos inovadores.

Vantagens técnicas

• Uma pegada compacta
• Projeto modular padro
• Flexível
• Confiável
• Estrutura de cmara octogonal
• Estrutura de duas portas para fácil acesso
• Processos PVD + PECVD

Características do projeto

1Flexibilidade: os cátodos de arco e pulverizaço, as flanges de montagem de fontes de íons so padronizadas para troca flexível

2Versatilidade: pode depositar uma variedade de metais comuns e ligas; revestimentos ópticos, revestimentos duros, revestimentos moles, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentosPelículas compostas e películas lubrificantes sólidas nos substratos de materiais metálicos e no metálicos

3- Design reto para a frente: estrutura de duas portas, abertura dianteira e traseira para fácil manutenço

Especificações técnicas

Modelo: Multi-950

Cmara de deposiço (mm)

Dimetro x Altura: φ950 x 1350

Fontes de deposiço: 1 par de catodos de pulverizaço MF

1 par de PECVD

8 conjuntos de cátodos de arco

1 conjunto Fonte de íons lineares

Zona de uniformidade do plasma (mm): φ650 x H750

Carrossel: 6 xφ300

Potências (KW) Bias: 1 x 36

Potência de pulverizaço MF (KW): 1 x 36

PECVD (KW): 1 x 36

Arco (KW): 8 x 5

Fonte iônica (KW): 1 x 5

Sistema de controlo de gás MFC: 4 + 1

Sistema de aquecimento: 18 kW, até 500°C, com controlo PID do par térmico

Válvula de saída de vácuo elevado: 2

Bomba molecular turbo: 2 x 2000L/S

Bomba de raízes: 1 x 300L/S

Bomba de válvulas rotativas: 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h

Impresso (L x O x H) mm: 3000 * 4000 * 3200

Potência total (KW): 150

Layout

A Shanghai Royal Technology Inc. foi criada em 2006, fornecedora mundial de equipamentos de vácuo de alta qualidade com locais-chave em todo o mundo.A tecnologia de investigaço e desenvolvimento é apoiada por engenheiros especializados nos Estados Unidos e na China.As instalações de fabricaço de máquinas de alta tecnologia esto localizadas em Xangai e a nossa rede global de centros de serviço assegura uma resposta rápida ao serviço ao cliente em locais-chave.

A Shanghai Royal Technology tem um forte impulso para o design inovador e a selecço de componentes de alta qualidade,combinado com um processo de montagem muito cuidadoso e uma equipa de topo de técnicos e inventores talentosos, que nos permitem oferecer soluções de revestimento chave na mo com equipamento de vácuo de alto padro, que atende e muitas vezes excede o padro ocidental.Estamos determinados a servir o mercado mundial em várias indústrias, tais como:

Eletrónica de consumo, automóveis, energia renovável, arquitetura, nanotecnologia e materiais biomédicos.

Modelo RTAS, equipamento de série integrado de arco e pulverizaço pode produzir películas pretas e de bronze altamente refletoras especificamente para revestimentos decorativos de alta qualidade.

RTSP1200-FCEV, é um sistema de pulverizaço com processo PECVD para depositar uma película fina em módulos de energia de célula de combustível de hidrogênio.Veículos a célula de combustível é a mais recente tecnologia para a próxima geraço de carros ecológicosA principal vantagem e o progresso tecnológico em comparaço com as baterias comumente utilizadas, como a célula seca, é a necessidade de passar por um processo de recarga recorrente.Mas os módulos de energia de célula de combustível de hidrogénio só exigem reaço de hidrogénio e oxigénio para gerar energia para conduço.

RTSP1200-DPC,Este sistema de revestimento é usado exclusivamente para o processo de substratos cermicos DPC (Direct Plating Copper). Os substratos cermicos DPC so amplamente utilizados em várias aplicações:Por exemplo, em LED de alto brilho para aumentar a longevidade devido ao seu alto desempenho de radiaço térmica, equipamento de semicondutores, em comunicaço sem fio de microondas, eletrônica militar, vários substratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviário, energia elétrica e muito mais.

RT-CsI950, A planta de revestimento por evaporaço é aplicada deposiço de filme CsI para dispositivos de imagem de raios-X. É uma técnica avançada para evaporar o CsI na tela para criar imagens de alta qualidade.O desempenho de alta resoluço permite que esta aplicaço seja extremamente eficiente e perturbadora no instrumento médico, indústria da energia nuclear, controlo e inspecço de segurança, matérias de física de alta energia e muito mais.

A Shanghai Royal Technology também projetou e desenvolveu com sucesso o sistema de metalizaço de vácuo de alumínio de grande tamanho de modelo de cubo e cilindro, que é usado para revestimento de placas de logotipo automotivo.

Viver localmente, pensar globalmente é a nossa viso.Sempre empenhados em inovaço para alcançar situações de ganho mútuo no nosso ecossistema de parceiros mundiaisComo pioneiros na indústria de equipamentos de revestimento a vácuo, nunca confiamos em realizações anteriores.Mas continuamente tentamos explorar o mundo em constante mudança da indústria de revestimento de vácuo para sempre criar otimizado econômico, benefícios sociais e ambientais para os nossos clientes.

A cultura da tecnologia real

A Viso do ROYAL:Ser o fornecedor de marca mundialmente famoso de fornecer soluções totais para os requisitos dos clientes.

Misso REAL:protege o ambiente, salva o nosso planeta azul; para melhorar os trabalhadores ambiente de trabalho difícil, aumentar a eficiência do trabalho, ajudar completamente os proprietários a reduzir os custos de produço.

Filosofia da Royal:A Comisso propõe que os Estados-Membros desenvolvam um programa de investigaço e desenvolvimento com o objectivo de promover o desenvolvimento da investigaço e desenvolvimento.

Valor do REAL:Inovaço, tecnologias avançadas e P&D, a serviço da China e das indústrias manufatureiras do mundo.

Serviço da RAYAL:Serviço ONE-STOP, com tecnologia e produtos excelentes, dedicaço profissional para servir os nossos clientes.