Meados de - magnétron da frequência que engasga a máquina de revestimento, MF que engasga a planta de revestimento, engasgando o sistema do depósito de vácuo

Número de modelo:RTSP1212-MF
Lugar de origem:Made in China
Quantidade de ordem mínima:1 conjunto
Termos do pagamento:L/C, D/A, D/P, T/T
Capacidade da fonte:6 grupos pelo mês
Tempo de entrega:12 semanas
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Endereço: ZONA INDUSTRIAL DA ESTRADA DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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Magnétron da Meados de-frequência que engasga a máquina de revestimento/MF que engasga o sistema  

 

 

 

O magnétron que engasga o revestimento de vácuo é um tipo de menthod do tratamento de superfície de chapeamento do íon de PVD. Pode ser usado para a produço de filmes de conduço ou no de conduço, em muitos tipos materiais: metais, vidro, cermico, plástico, liga do metal. O conceito do depósito engasgar: o material de revestimento (alvo, igualmente nomeado cátodo) e as partes do trabalho (carcaças, igualmente chamadas nodo) so colocados na cmara de vácuo e na presso so reduzidos. Engasgar é iniciado colocando o alvo sob uma tenso differintial e introduzindo o gás do argônio que forma íons do argônio (descarga de fulgor). Os íons do argônio aceleram para o alvo do processo e deslocam átomos do alvo. Estes átomos engasgar ento so condensados na carcaça e formam a camada muito fina e alta da uniformidade. As várias cores podem ser conseguidas introduzindo gás reativos como, nitrogênio, oxgen, ou acetileno nos gass do salpico durante o processo do revestimento.

 

Magnétron que engasga modelos: C.C. que engasga, MF que engasga, engasgar do RF

 

Que o MF está engasgando?

 

Comparado com a C.C. e o RF que engasgam, engasgar da Meados de-frequência transformou-se um filme fino principal que engasga a técnica para a produço em massa de revestimento, particularmente para o depósito do filme de revestimentos dielétricos e no-condutores do filme em superfícies tais como os revestimentos óticos, os painéis solares, as camadas múltiplas, o filme etc. do material composto.

Está substituindo engasgar do RF devido a ele operou-se com quilohertz um pouco do que o megahertz para uma taxa de depósito muito mais rápida e igualmente pode evitar o envenenamento do alvo durante o depósito composto do filme fino como a C.C.

 

O MF que engasga alvos existiu sempre com dois-grupos. Dois cátodos so usados com uma corrente da C.A. comutada para a frente e para trás entre eles qual limpa a superfície do alvo com cada reverso para reduzir a acumulaço da carga em dielétricos que aquele conduz a formar arcos que pode vomitar gotas no plasma e impedir o crescimento de filme fino uniforme--- qual é o que nós chamamos Alvo Envenenamento.

 

MF que engasga o desempenho do sistema

1. Presso final do vácuo: melhore do que os Torr 5.0×10-6.

2. Presso de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.

3. Tempo de Pumpingdown: de 1 atm a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a cmara)

4. Metalizando o material (que engasga + evaporaço do arco): Ni, Cu, AG, Au, si, Zr, Cr, lata, tique, TiAlN, CrN, centro de detecço e de controlo, etc.

5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente

 

MF que engasga a estrutura de sistema

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

1. Cmara de vácuo

2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging (pacote da bomba do revestimento protetor)

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto (magneticamente bomba molecular da suspenso)

4. Sistema bonde do controle e da operaço

5. Sistema da facilidade de Auxiliarry (subsistema)

6. Sistema do depósito: MF que engasga o cátodo, fonte de alimentaço do MF, fonte de íon diagonal da fonte de alimentaço para opcional

 

MF que engasga especificações do sistema RTSP1212-MF

 

MODELORTSP1212-MF
TECNOLOGIAMagnétron do MF que engasga + chapeamento do íon
MATERIALDe aço inoxidável (S304)
TAMANHO DA CMARAΦ1250*H1250mm
TIPO DA CMARACilindro, vertical, 1 porta
ENGASGANDO O SISTEMAExclusivamente projeto para o depósito preto fino do filme
MATERIAL DO DEPÓSITOAlumínio, prata, cobre, Chrome, de aço inoxidável,
Níquel
FONTE DO DEPÓSITO2 grupos engasgar cilíndrico que do MF visa + 8 dirigiram fontes catódicas do arco
GÁSMFC 4 maneiras, AR, N2, O2, C2H2
CONTROLEPLC (controlador programável da lógica) +
SISTEMA DE BOMBASV300B - 1 grupo (Leybold)
WAU1001 - 1 ajusta-se (Leybold)
D60T- 2sets (Leybold)
Bombas moleculars do turbocompressor: 2* F-400/3500
PRÉ-TRATAMENTOFonte de alimentaço diagonal: Quilowatt 1*36
SISTEMA DE SEGURANÇAInterruptores de segurança numerosos para proteger operadores
REFRIGERARÁgua fria
PODER BONDE480V/3 phases/60HZ (EUA complacentes)
460V/3 phases/50HZ (Ásia complacente)
380V/3 phases/50HZ (EU-CE complacente)
PEGADAL3000*W3000*H2000mm
PESO TOTAL7,0 T
PEGADA(L*W*H) 5000*4000 *4000 MILÍMETRO
TEMPO DE CICLO30~40 minutos (segundo o material da carcaça,
geometria da carcaça e circunstncias ambientais)
MÁXIMO DO PODER.155 QUILOWATTS

PODER MÉDIO

CONSUMO (APROXIMADAMENTE)

75 QUILOWATTS

 

 

 

 

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