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Máquina de revestimento por pulverizaço de magnetron DC e MF, soluções de revestimento PVD preto profundo
Revestimento de Magnetron Sputtering
Revestimento de plasma
O magnetron sputtering é um processo de revestimento de plasma pelo
qual o material de sputtering é ejetado devido ao bombardeio de
íons na superfície do alvo.A cmara de vácuo da máquina de
revestimento PVD é preenchida com um gás inerte, como o argônio.Ao
aplicar uma alta voltagem, uma descarga de brilho é criada,
resultando na aceleraço de íons para a superfície do alvo e um
revestimento de plasma.Os íons de argônio ejetaro materiais
pulverizados da superfície do alvo (sputtering), resultando em uma
camada de revestimento pulverizada sobre os produtos na frente do
alvo. A tecnologia de magnetron sputtering é caracterizada por:
MODELO | RTAC1250-SPMF | ||||||
TECNOLOGIA | MF Magnetron Sputtering + Ion Plating | ||||||
MATERIAL | Aço inoxidável (S304) | ||||||
TAMANHO DA CMARA | Φ1250 * H1250mm | ||||||
TIPO DE CMARA | Cilindro, vertical, 1 porta | ||||||
SISTEMA DE PULSAÇO | Design exclusivo para deposiço de filme preto fino | ||||||
MATERIAL DE DEPOSIÇO | Alumínio, prata, cobre, cromo, aço inoxidável, Níquel | ||||||
FONTE DE DEPOSIÇO | 2 conjuntos de alvos de pulverizaço cilíndricos MF + 8 fontes de arco catódico direcionado + fonte de íons para opcional | ||||||
GÁS | MFC- 4 vias, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
AO CONTROLE | CLP (Controlador Lógico Programável) + | ||||||
SISTEMA DE BOMBA | SV300B - 1 conjunto (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 conjuntos (Leybold) | |||||||
D60T- 1 conjunto (Leybold) | |||||||
Bombas Moleculares Turbo: 2* F-400/3500 | |||||||
PRÉ-TRATAMENTO | Fonte de alimentaço de polarizaço: 1*36 KW | ||||||
SISTEMA DE SEGURANÇA | Numerosos intertravamentos de segurança para proteger os operadores | ||||||
RESFRIAMENTO | Água fria | ||||||
ENERGIA ELÉTRICA | 480V/3 fases/60HZ (compatível com EUA) | ||||||
460V/3 fases/50HZ (em conformidade com a Ásia) | |||||||
380V/3 fases/50HZ (em conformidade com a UE-CE) | |||||||
PEGADA | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
PESO TOTAL | 7,0T | ||||||
PEGADA | (L*W*H) 5000*4000*4000MM | ||||||
TEMPO DE CICLO | 30~40 minutos (dependendo do material do substrato, geometria do substrato e condições ambientais) | ||||||
POTÊNCIA MÁX.. | 155 KW | ||||||
POTENCIA MÉDIA CONSUMO (APROX.) | 75 KW |
Entre em contato conosco para obter mais especificações, a Royal Technology tem a honra de fornecer soluções totais de revestimento.