Múltiplo de R & de D - equipamento MF/C.C. do revestimento de vácuo das funções que engasga cátodos, com dispositivo linear da fonte de íon

Múltiplo de R & de D - equipamento MF/C.C. do revestimento de vácuo das funções que engasga cátodos

Equipamento do revestimento de vácuo das Múltiplo-funções do R&D

Palavras-chaves: Os revestimentos duros de PVD, processo de PECVD, filme de DLC, diamante gostam do filme do carbono, engasgando o filme ótico, magnétron de Gencoa que engasga o cátodo, fonte de íon, PA PVD

Características de projeto de RTAC950-SP:

• Flexibilidade: as fontes do arco e do salpico, flanges de montagem lineares dos dispositivos da fonte de íon so estandardizadas para a troca flexível
• Versatilidade: disponível para a variedade do depósito de metais e ligas baixas, revestimentos óticos e revestimentos duros, revestimentos macios. Filmes compostos e filmes de lubrificaço contínuos nas carcaças metálicas e no metálicas dos materiais
• Projeto direto: estrutura de porta 2, parte dianteira e abertura traseira para a manutenço fácil.

Especificações técnicas

• Desempenho

1. Presso final do vácuo: melhore do que Pa 8.0*10-4;

• Baseie a presso do vácuo: Pa 3.0*10-2

3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm aos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a cmara)

4. Fonte do depósito: Magnétron de Gencoa que engasga cátodos, cátodos dirigidos do arco, fonte de íon

5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente

6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 500℃,

9. Fonte de íon para o processo de PECVD e de PA PVD.

• Estrutura

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

1. Cmara de vácuo
1,1 tamanho: Profundidade interna 950mm

Altura interna: 1350mm

1,2 material: Cmara de vácuo SUS304

Porta e flanges SUS304

A cmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminaço pintado.

Aço suave do chassi SS41 da cmara com tratamento de superfície de terminaço pintado.

1,3 protetor da cmara: SUS304

1,4 janela da vista: em portas da cmara -2

1,5 válvula de ventilaço da cmara de vácuo (que inclui o silenciador)

1,6 porta: 2 grupos, partes dianteiras e partes traseiras, material SUS304

2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de vácuo giratória da aleta do óleo + guardando a bomba

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto:

Bomba molecular do turbocompressor - 2 grupos

4. Sistema bonde de ScreenOperation do toque do sistema PLC+ do controle e da operaço:

Fornecedores:

PLC: Mitsubishi, modelo: SÉRIE FX-IN60MR-001

Componentes eletrônicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de proteço da segurança: Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento (água, gás atual, temperatura etc.)

O revestimento processa o sistema: Automatizaço & controle de processo. Salvar automaticamente na memória por 3 meses. Dados de revestimento caracterizados das receitas: a corrente da operaço do alvo/tenso, fluxo maciço, presso do vácuo, temperatura, épocas de revestimento salvar para que uma análise aumente a qualidade dos revestimentos.

4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 fonte de alimentaço: MF que engasga o poder do arco do poder + da C.C. + fonte de alimentaço diagonal

4,3 sistema de controlo do depósito

4,4 sistema da operaço: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuaço, auto revestimento

4,5 sistema de mediço

Presso do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa

Dispositivo de mediço da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras),

4,6 sistema de alarme: Presso de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operaço

4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tenso e indicador da corrente da carga

5. sistema do depósito

5,1 fonte do depósito: Engasgando fontes do arco de cathodes+ + fonte de íon

5,2 material do depósito: ITO, titnio, Chrome, alumínio, de aço inoxidável, TiAl etc.

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulaço e do interruptor do volume de água

7. Ambiente de trabalho

Ar comprimido: 5~8kg/cm2

Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na presso: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de potência média: 60KW

Área da instalaço: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Exausto: Respiradouro para as bombas mecnicas

Aplicações

Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.

A Shanghai Royal Technology Inc. foi criada em 2006, fornecedora mundial de equipamentos de vácuo de alta qualidade com locais-chave em todo o mundo.A tecnologia de investigaço e desenvolvimento é apoiada por engenheiros especializados nos Estados Unidos e na China.As instalações de fabricaço de máquinas de alta tecnologia esto localizadas em Xangai e a nossa rede global de centros de serviço assegura uma resposta rápida ao serviço ao cliente em locais-chave.

A Shanghai Royal Technology tem um forte impulso para o design inovador e a selecço de componentes de alta qualidade,combinado com um processo de montagem muito cuidadoso e uma equipa de topo de técnicos e inventores talentosos, que nos permitem oferecer soluções de revestimento chave na mo com equipamento de vácuo de alto padro, que atende e muitas vezes excede o padro ocidental.Estamos determinados a servir o mercado mundial em várias indústrias, tais como:

Eletrónica de consumo, automóveis, energia renovável, arquitetura, nanotecnologia e materiais biomédicos.

Modelo RTAS, equipamento de série integrado de arco e pulverizaço pode produzir películas pretas e de bronze altamente refletoras especificamente para revestimentos decorativos de alta qualidade.

RTSP1200-FCEV, é um sistema de pulverizaço com processo PECVD para depositar uma película fina em módulos de energia de célula de combustível de hidrogênio.Veículos a célula de combustível é a mais recente tecnologia para a próxima geraço de carros ecológicosA principal vantagem e o progresso tecnológico em comparaço com as baterias comumente utilizadas, como a célula seca, é a necessidade de passar por um processo de recarga recorrente.Mas os módulos de energia de célula de combustível de hidrogénio só exigem reaço de hidrogénio e oxigénio para gerar energia para conduço.

RTSP1200-DPC,Este sistema de revestimento é usado exclusivamente para o processo de substratos cermicos DPC (Direct Plating Copper). Os substratos cermicos DPC so amplamente utilizados em várias aplicações:Por exemplo, em LED de alto brilho para aumentar a longevidade devido ao seu alto desempenho de radiaço térmica, equipamento de semicondutores, em comunicaço sem fio de microondas, eletrônica militar, vários substratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviário, energia elétrica e muito mais.

RT-CsI950, A planta de revestimento por evaporaço é aplicada deposiço de filme CsI para dispositivos de imagem de raios-X. É uma técnica avançada para evaporar o CsI na tela para criar imagens de alta qualidade.O desempenho de alta resoluço permite que esta aplicaço seja extremamente eficiente e perturbadora no instrumento médico, indústria da energia nuclear, controlo e inspecço de segurança, matérias de física de alta energia e muito mais.

A Shanghai Royal Technology também projetou e desenvolveu com sucesso o sistema de metalizaço de vácuo de alumínio de grande tamanho de modelo de cubo e cilindro, que é usado para revestimento de placas de logotipo automotivo.

Viver localmente, pensar globalmente é a nossa viso.Sempre empenhados em inovaço para alcançar situações de ganho mútuo no nosso ecossistema de parceiros mundiaisComo pioneiros na indústria de equipamentos de revestimento a vácuo, nunca confiamos em realizações anteriores.Mas continuamente tentamos explorar o mundo em constante mudança da indústria de revestimento de vácuo para sempre criar otimizado econômico, benefícios sociais e ambientais para os nossos clientes.

A cultura da tecnologia real

A Viso do ROYAL:Ser o fornecedor de marca mundialmente famoso de fornecer soluções totais para os requisitos dos clientes.

Misso REAL:protege o ambiente, salva o nosso planeta azul; para melhorar os trabalhadores ambiente de trabalho difícil, aumentar a eficiência do trabalho, ajudar completamente os proprietários a reduzir os custos de produço.

Filosofia da Royal:A Comisso propõe que os Estados-Membros desenvolvam um programa de investigaço e desenvolvimento com o objectivo de promover o desenvolvimento da investigaço e desenvolvimento.

Valor do REAL:Inovaço, tecnologias avançadas e P&D, a serviço da China e das indústrias manufatureiras do mundo.

Serviço da RAYAL:Serviço ONE-STOP, com tecnologia e produtos excelentes, dedicaço profissional para servir os nossos clientes.