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Magnetron Sputtering é amplamente utilizado para depositar metais refratários como tntalo, titnio, tungstênio,Nióbio, que exigiria temperaturas de deposiço muito elevadas, e metais preciosos: Ouro e Prata e que também é utilizado para a deposiço de metais com baixos pontos de fuso como cobre, alumínio, níquel, cromo, etc.
O tntalo é mais utilizado na electrónicaIndústriacomo revestimento protetor devido sua boa resistência eroso.
Aplicações da película fina de tntalo pulverizado:
1- indústria da microelectrónica, uma vez que as películas podem
ser pulverizadas reactivamente e, assim, a resistividade e o
coeficiente de temperatura da resistência podem ser controlados;
5Indústria de semicondutores, micro-chips eletrónicos
Vantagens técnicas
Sistema padronizado de deposiço por pulverizaço de Tntalo da Royal Technology: RTSP1000
Configurações principais | |
Modelo | RTSP1200 |
TECNOLOGIA | Pulso de pulso de magnetron DC Revestimento por arco catódico (opcional, determinado por processo de revestimento), fonte de feixe iônico |
Material da cmara | Aço inoxidável (S304) |
Tamanho da cmara | Φ1200*1300 mm (H) |
Tipo de cmara | Forma D, cmara cilíndrica |
RECK DE ROTAÇO e SISTEMA JIG | Sistema de conduço por satélite ou sistema de conduço central |
Fontes de energia | Fornecimento de energia de pulverizaço em corrente contínua: 2 a 4
conjuntos Fonte de íons: 1 conjunto |
MATERIAL DE DEPÓSITO | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu, etc. |
Fonte de depósito | Cátodos de pulverizaço plana + cátodos de arco circular |
Controle | PLC ((Controller lógico programável) + IPC (modelos de operaço manual + automática + semi-automática) |
Sistema de bombagem | Bomba de válvula giratória: SV300B ¢ 1 conjunto (Leybold) |
Bomba de raízes: WAU1001 1 conjunto (Leybold) | |
Bomba de retenço: D60C ¢ 1 conjunto (Leybold) | |
Bomba molecular de suspenso magnética: MAG2200 2 sest (Leybold) | |
Controlador de fluxo de massa de gás | 2 canais: Ar e N2 |
Método de vácuo | Inficon ou Leybold |
Sistema de segurança | Numerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores e os equipamentos |
Aquecimento | Caldeiras: 20 kW. Temperatura máxima: 450°C |
Frigorificaço | Frigorífico industrial (água fria) |
Power Max. | 100 kW (aprox.) |
Consumo médio de energia | 45 KW (aprox.) |
Peso bruto | T (aproximadamente) |
PRENTA DE PÉ | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
Energia elétrica | Linha AC 380V/3 fases/50HZ / 5 |
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