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Magnetron Sputtering é amplamente utilizado para depositar metais refratários como tntalo, titnio, tungstênio,Nióbio, que exigiria temperaturas de deposiço muito elevadas, e metais preciosos: Ouro e Prata e que também é utilizado para a deposiço de metais com baixos pontos de fuso como cobre, alumínio, níquel, cromo, etc.
O tntalo é mais utilizado na electrónicaIndústriacomo revestimento protetor devido sua boa resistência eroso.
Aplicações da película fina de tntalo pulverizado:
1- indústria da microelectrónica, uma vez que as películas podem
ser pulverizadas reactivamente e, assim, a resistividade e o
coeficiente de temperatura da resistência podem ser controlados;
5Indústria de semicondutores, micro-chips eletrónicos
Vantagens técnicas
Sistema padronizado de deposiço por pulverizaço de Tntalo da Royal Technology: RTSP1000
| Configurações principais | |
| Modelo | RTSP1200 |
| TECNOLOGIA | Pulso de pulso de magnetron DC Revestimento por arco catódico (opcional, determinado por processo de revestimento), fonte de feixe iônico |
| Material da cmara | Aço inoxidável (S304) |
| Tamanho da cmara | Φ1200*1300 mm (H) |
| Tipo de cmara | Forma D, cmara cilíndrica |
| RECK DE ROTAÇO e SISTEMA JIG | Sistema de conduço por satélite ou sistema de conduço central |
| Fontes de energia | Fornecimento de energia de pulverizaço em corrente contínua: 2 a 4
conjuntos Fonte de íons: 1 conjunto |
| MATERIAL DE DEPÓSITO | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu, etc. |
| Fonte de depósito | Cátodos de pulverizaço plana + cátodos de arco circular |
| Controle | PLC ((Controller lógico programável) + IPC (modelos de operaço manual + automática + semi-automática) |
| Sistema de bombagem | Bomba de válvula giratória: SV300B ¢ 1 conjunto (Leybold) |
| Bomba de raízes: WAU1001 1 conjunto (Leybold) | |
| Bomba de retenço: D60C ¢ 1 conjunto (Leybold) | |
| Bomba molecular de suspenso magnética: MAG2200 2 sest (Leybold) | |
| Controlador de fluxo de massa de gás | 2 canais: Ar e N2 |
| Método de vácuo | Inficon ou Leybold |
| Sistema de segurança | Numerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores e os equipamentos |
| Aquecimento | Caldeiras: 20 kW. Temperatura máxima: 450°C |
| Frigorificaço | Frigorífico industrial (água fria) |
| Power Max. | 100 kW (aprox.) |
| Consumo médio de energia | 45 KW (aprox.) |
| Peso bruto | T (aproximadamente) |
| PRENTA DE PÉ | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Energia elétrica | Linha AC 380V/3 fases/50HZ / 5 |
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