Forno de crescimento de epitaxia para o carburo de silício HTCVD ((CVD SIC))

Este equipamento é utilizado para revestimento por carburo de silício de materiais base de carbono/cermica,especialmente deposiço de carburo de silício na superfície do suscetor epitaxial do semicondutor e do anel de gravaço.

Base epitaxial, um disco de grafite de alta pureza, com um sulco circular para fixar o substrato da bolacha.Após colocá-los no forno, uma camada de filme de cristal crescerá na superfície do substrato, que é a camada epitaxial.Os processos de wafer, como litografia e implantaço de íons, so todos realizados na camada epitaxial.

A base epitaxial feita de grafite no pode obviamente satisfazer os requisitos de limpeza ultra elevados no processo de semicondutores.Por esta razo, precisamos de usar deposiço de vapor químico na base para envolver uma camada de filme denso de carburo de silício.

Configuraço opcional

1. Porto do forno: tipo de elevaço por parafuso/hidráulico/manual; abertura balançante/abertura paralela ((porto do forno de grandes dimensões); fechamento manual/fechamento automático
2- recipiente de forno: todo o aço carbono/camada interna de aço inoxidável/todo o aço inoxidável
3Zona quente do forno: feltro de carbono macio/feito de grafite macio/feito de compostos rígidos/FCFC
4- elemento de aquecimento e muffle: grafite de prensagem isostática/grafite de alta pureza, resistência e densidade/grafite de tamanho fino
5Sistema de gás de processo: medidor de caudal de volume/massa;
6. Termócopois: tipo K/tipo N/tipo C/tipo S

• Padrões de concepço

O equipamento é concebido em conformidade com os requisitos do Instituto de Superviso Técnica e de Qualidade para recipientes sob presso e é qualificado após ensaio sob presso e enviado.O projecto e a construço eléctricos cumprem as normas nacionais.

• Teste pré-instalaço e pré-aceitaço

O equipamento é totalmente montado na nossa fábrica, incluindo todos os tubulações, tubulações de vácuo, tubulações de gás de processo, tubulações de água de resfriamento, tubulações de ar comprimido, etc.Os ensaios prévios podem ser realizados após a instalaçoNo local do cliente, as tubulações, para além do equipamento, so fornecidas pelo cliente.O cabo principal que liga o gabinete de alimentaço é fornecido pelo cliente.Após a instalaço, realizamos testes de vazo e de vazamento de presso positiva em todo o equipamento, bem como testes de funço mecnica e elétrica.

• Desmontagem e transporte

O equipamento será desmontado em várias partes grandes, embalado de forma normalizada e carregado no veículo de transporte.

• Instalaço e colocaço em serviço no local do cliente

O engenheiro pós-venda da Redel irá liderar a equipe para completar o comissionamento, o ensaio do produto e outros trabalhos dentro de 20 dias úteis.O cliente deve fazer os preparativos adequados e fornecer as ferramentas necessárias, como equipamento de elevaço e elevaço. e fornecer apoio de pessoal de instalaço (recomenda-se ter 1 pessoal mecnico e 1 pessoal elétrico).

• Aceitaço final
Após a instalaço e colocaço em serviço, o equipamento pode ser finalmente aceite em conformidade com os requisitos do contrato técnico.

• Formaço
Os nossos engenheiros pós-venda fornecero um treinamento sistemático e completo no local, incluindo operaço, manutenço, soluço de problemas, etc.

• Transmisso de dados técnicos

Para assegurar a operaço segura e a manutenço dos equipamentos, os seguintes dados técnicos sero fornecidos aos clientes:

1. Disposiço da instalaço do equipamento
2. Manual de utilizaço
3Lista de peças de reposiço
4Desenhos eléctricos
5Manual do componente

Perguntas frequentes

É uma fábrica ou uma empresa comercial?

P: É uma fábrica ou uma empresa comercial?
R: Somos o principal fabricante de fornos a vácuo de alta temperatura da China, com mais de 10 anos de experiência.

Tem serviços de personalizaço ou OEM?

P: Você tem serviço de personalizaço ou OEM?
R: Sim, temos uma poderosa equipa de I&D e equipamento de alta tecnologia. Assim, no só podemos fornecer o modelo normal, mas também o forno personalizável como o repúrio dos nossos clientes.

Qual é a sua vantagem?

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Resposta rápida ao seu pedido.

L Alto controlo de qualidade

L Cadeia de abastecimento estável

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Excelente serviço pós-venda

       Zhuzhou Ruideer Intelligent Equipment Co., Ltd.é um fabricante de soluções de metalurgia em pó para toda a cadeia industrial, integrando os serviços de desenvolvimento de processos, produço, vendas e revestimento de fornos de sinterizaço,Fornos de revestimento PVD e fornos de revestimento CVDA Ruideer dispõe de oficinas e edifícios de escritórios normalizados, cobrindo uma área de mais de 19.000 metros quadrados, com mais de 170 empregados.A produtividade da Ruideer alcança 120 conjuntos de fornos de sinterizaço a presso por ano, 500.000 peças de revestimento PVD por mês, e 250.000 peças de revestimento CVD por mês.

Nos últimos anos, a Ruideer foi classificada como uma empresa nacional de alta tecnologia, uma empresa especializada e sofisticada de nível nacional (designada como uma pequena empresa gigante nacional em 2022),uma pequena empresa gigante na província de Hunan, e um único campeo de fornos de sinterizaço sob presso na província de Hunan, e obteve 85 autorizações de propriedade intelectual.

Quase.400Fornos de sinterizaço a presso de gases desengraxantes, e180A fim de satisfazer e exceder continuamente as necessidades dos clientes, a Ruideer fornece aos clientes "aplicações orientadas,desenvolvimento chaveOs produtos so vendidos tanto no interior como no estrangeiro (EUA, Rússia, UE, Japo, Ucrnia, Coreia do Sul, Vietname e outros países),prestaço de serviços de resposta 24 horas por dia aos clientes domésticosOs produtos da Ruideer têm sido amplamente utilizados na indústria de carburo cimentado, cermica, aço inoxidável MIM e semicondutores.

De acordo com o espírito empresarial de "orientaço qualidade, inovaço contínua, satisfaço do serviço, unidade e trabalho árduo e desenvolvimento comum",Ruideer é guiado pela procura do mercado e pelo desenvolvimento dos negócios, apoiado por tecnologias-chave, seguindo de perto as necessidades dos clientes,e está empenhada em servir os clientes com produtos técnicos estáveis e confiáveis e contribuir para a aplicaço no campo da metalurgia de pó!

Nosso modelo padro de forno de sinterizaço inclui (mas no se limita a):

• Forno integrado de sinterizaço a gás a presso ((1MPa/2MPa/6MPa/10MPa)
• Fornos integrados de sinterizaço a vácuo
• Fornos de sinterizaço de aço inoxidável MIM
• Nitreto de silícioForno de sinterizaço
• Carburo de silícioForno de sinterizaço
• MetalForno de sinterizaço (aquecedor Mo/W)
• Fornos de brasagem a vácuo
• Forno de revestimento CVD