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Este equipamento é utilizado para revestimento por carburo de silício de materiais base de carbono/cermica,especialmente deposiço de carburo de silício na superfície do suscetor epitaxial do semicondutor e do anel de gravaço.
A taxa de revestimento é um indicador muito importante para os clientes a jusante, que está directamente relacionado com a capacidade de produço dos equipamentos.O nosso equipamento pode atingir uma taxa de deposiço de 50 microns por hora, e podem também ser equipados com arrefecimento rápido, o que reduz muito o tempo de produço.
Características técnicas
1. Utilizando várias zonas de controlo de temperatura, grande uniformidade de temperatura;
2. Cmara de deposiço especialmente concebida com bom efeito de vedaço e grande desempenho anti-contaminaço;
3. Utilizando múltiplos canais de deposiço com fluxo de gás uniforme, sem ngulo morto de deposiço e superfície de deposiço perfeita;
4Tem tratamento para o alcatro, poeira sólida e gases orgnicos durante o processo de deposiço
• Padrões de concepço
O equipamento é concebido em conformidade com os requisitos do
Instituto de Superviso Técnica e de Qualidade para recipientes sob
presso e é qualificado após ensaio sob presso e enviado.O projecto
e a construço eléctricos cumprem as normas nacionais.
• Teste pré-instalaço e pré-aceitaço
O equipamento é totalmente montado na nossa fábrica, incluindo
todos os tubulações, tubulações de vácuo, tubulações de gás de
processo, tubulações de água de resfriamento, tubulações de ar
comprimido, etc.Os ensaios prévios podem ser realizados após a
instalaçoNo local do cliente, as tubulações, para além do
equipamento, so fornecidas pelo cliente.O cabo principal que liga o
gabinete de alimentaço é fornecido pelo cliente.Após a instalaço,
realizamos testes de vazo e de vazamento de presso positiva em todo
o equipamento, bem como testes de funço mecnica e elétrica.
• Desmontagem e transporte
O equipamento será desmontado em várias partes grandes, embalado de
forma normalizada e carregado no veículo de transporte.
• Instalaço e colocaço em serviço no local do cliente
O engenheiro pós-venda da Redel irá liderar a equipe para completar
o comissionamento, o ensaio do produto e outros trabalhos dentro de
20 dias úteis.O cliente deve fazer os preparativos adequados e
fornecer as ferramentas necessárias, como equipamento de elevaço e
elevaço. e fornecer apoio de pessoal de instalaço (recomenda-se ter
1 pessoal mecnico e 1 pessoal elétrico).
• Aceitaço final
Após a instalaço e colocaço em serviço, o equipamento pode ser
finalmente aceite em conformidade com os requisitos do contrato
técnico.
• Formaço
Os nossos engenheiros pós-venda fornecero um treinamento
sistemático e completo no local, incluindo operaço, manutenço,
soluço de problemas, etc.
• Transmisso de dados técnicos
Para assegurar a operaço segura e a manutenço dos equipamentos, os
seguintes dados técnicos sero fornecidos aos clientes:
1. Disposiço da instalaço do equipamento
2. Manual de utilizaço
3Lista de peças de reposiço
4Desenhos eléctricos
5Manual do componente
Perguntas frequentes
P: É uma fábrica ou uma empresa comercial?
R: Somos o principal fabricante de fornos a vácuo de alta
temperatura da China, com mais de 10 anos de experiência.
P: Você tem serviço de personalizaço ou OEM?
R: Sim, temos uma poderosa equipa de I&D e equipamento de alta
tecnologia. Assim, no só podemos fornecer o modelo normal, mas
também o forno personalizável como o repúrio dos nossos clientes.
P: Qual é a sua vantagem?
A:
Resposta rápida ao seu pedido.
L Alto controlo de qualidade
L Cadeia de abastecimento estável
L Entrega atempada
Excelente serviço pós-venda