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Bomba de Maglev, CXF-250/2300, ISO-K/CF, refrigerar de água, controlador externo
As bombas moleculars magneticamente levitadas so as bombas de que shafting é apoiado em virtude da força magnética, cumprindo exigências da aplicaço para campos da fabricaço moderna do semicondutor, da fabricaço da microplaqueta, do chapeamento industrial e de instrumentos científicos.
Tecnologias:
As vantagens:
Isto bombeia tem vantagens, tais como a fricço zero durante a operaço, e consumo da baixa potência, fáceis adquirir o vácuo alto realmente limpo e o vácuo ultrahigh sem lubrificaço para as bombas, capaz de extrair gás corrosivos para a segurança a longo prazo, alta e a vida útil longa devido proteço dos rolamentos com as bolas cermicas da preciso e da funço de geraço do poder em caso do sem energia repentino. Tem advatages como livre da fricço, da poluiço e da manutenço e com baixa vibraço, e pode ser instalado em toda a orientaço.
Aplicações:
A extraço dos gás corrosivos que existem gravura em gua forte, CVD, PVD e implantaço e gás de íon coagulou-se facilmente na temperatura normal nos campos da fabricaço do semicondutor, da fabricaço do grampo, do chapeamento industrial e de instrumentos científicos.
Especificaço:
Flange (dentro) | DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
Flange (para fora) KF | DN40 |
Velocidade de bombeamento (L/s) | 2:2300de N |
AR: 2250 | |
Ele: 1900 | |
2:850de H | |
Relaço de compresso | N 2:108 |
AR: 108 | |
Ele: 104 | |
H 2:103 | |
Presso de Ultimated (Pa) | CF: 1×10-6 |
ISO-K/F: 6×10-6 | |
Presso do Frente-vácuo de Máximo Contínuo (Pa) | 60 |
Presso máxima do Frente-vácuo | 2:250de N |
Gás durante todo (sccm) | 2:3600de N |
AR: 1400 | |
Ele: 2800 | |
2:2100de H | |
Velocidade de rotaço (RPM) | 27000 |
Tempo do período preparatório (minuto) | ≤11 |
Tipo refrigerando, padro | Água |
Consumo de água refrigerando (L/MIN) | 1 |
Temperatura da água refrigerando (℃) | 20 |
Conexo de poder: Tenso (C.A. de V) | 220 |
Modelo do controlador | CXF-2300 |
Peso (quilogramas) | 59 (ISO-K/F) 62 (CF) |