Movimentação externo do motor refrigerar de água da bomba de vácuo de Maglev Pump Turbo do controlador

Brand Name:KYKY
Certification:CE
Model Number:CXF-250/2300E
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Bomba de Maglev, CXF-250/2300, ISO-K/CF, refrigerar de água, controlador externo

As bombas moleculars magneticamente levitadas so as bombas de que shafting é apoiado em virtude da força magnética, cumprindo exigências da aplicaço para campos da fabricaço moderna do semicondutor, da fabricaço da microplaqueta, do chapeamento industrial e de instrumentos científicos.

 

Tecnologias:

  • Controle a tecnologia para o rolamento magnético: uma linha central 5 levitou magneticamente, com base em teoria de controle internacional avançada, para garantir tais vantagens significativas do shafting de alta velocidade como a operaço levitada e segura do estábulo.
  • Tecnologia do controle da movimentaço do motor: Sistema de alta velocidade de grande eficacia do motor e do servocontrol da C.C., tendo a energia máxima do motor e para compensar a velocidade de gerencio de shafting automaticamente, desse modo realizando a partida estável, a operaço segura e a funço de regulamento automática da energia dinmica.
  • Tecnologia composta do rotor da fibra do carbono: Feito combinando a liga de alumínio de grande resistência e a fibra de pouco peso do carbono. caracterizado da grande reduço do peso e da grande melhoria da força, de modo que os alvos da velocidade de gerencio alta, do elevado desempenho e da confiança alta sejam conseguidos.
  • Tecnologia de oposiço da corroso: As superfícies das partes nas cmaras so tratadas com o processo especial, de modo que as superfícies possam resistir a corroso causada por gás corrosivos em processos de manufatura do semicondutor por muito tempo. Além, os gás inertes tais como o N2 so inteiramente dentro shafting enchido das bombas para proteger as baixas peças do vácuo nas bombas, de modo que a funço estavelmente de esgotar gás corrosivos por longos período seja realizada.
  • Sistema de controlo da temperatura de aquecimento: equipado com um calefator bonde e um controlador de temperatura, a água refrigerando, o aquecimento do ar-osso, o aquecimento bonde e o calor levados por gás protetores podem ser monitorados e controlado durante a operaço, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para o prazo, algumas substncias gasosas no so convertidas em substncias contínuas na temperatura normal e no so depositadas nas bombas, e as exigências para o processo especial tais gravura a água-forte podem ser cumpridas.

 

As vantagens:

Isto bombeia tem vantagens, tais como a fricço zero durante a operaço, e consumo da baixa potência, fáceis adquirir o vácuo alto realmente limpo e o vácuo ultrahigh sem lubrificaço para as bombas, capaz de extrair gás corrosivos para a segurança a longo prazo, alta e a vida útil longa devido proteço dos rolamentos com as bolas cermicas da preciso e da funço de geraço do poder em caso do sem energia repentino. Tem advatages como livre da fricço, da poluiço e da manutenço e com baixa vibraço, e pode ser instalado em toda a orientaço.

 

Aplicações:

A extraço dos gás corrosivos que existem gravura em gua forte, CVD, PVD e implantaço e gás de íon coagulou-se facilmente na temperatura normal nos campos da fabricaço do semicondutor, da fabricaço do grampo, do chapeamento industrial e de instrumentos científicos.

 

Especificaço:

Flange (dentro)DN250 CF/ISO-K, ISO-F
Flange (para fora) KFDN40
Velocidade de bombeamento (L/s)2:2300de N
AR: 2250
Ele: 1900
2:850de H
Relaço de compressoN 2:108
AR: 108
Ele: 104
H 2:103
Presso de Ultimated (Pa)CF: 1×10-6
ISO-K/F: 6×10-6
Presso do Frente-vácuo de Máximo Contínuo (Pa)60
Presso máxima do Frente-vácuo2:250de N
Gás durante todo (sccm)2:3600de N
AR: 1400
Ele: 2800
2:2100de H
Velocidade de rotaço (RPM)27000
Tempo do período preparatório (minuto)≤11
Tipo refrigerando, padroÁgua
Consumo de água refrigerando (L/MIN)1
Temperatura da água refrigerando (℃)20
Conexo de poder: Tenso (C.A. de V)220
Modelo do controladorCXF-2300
Peso (quilogramas)59 (ISO-K/F) 62 (CF)
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Movimentação externo do motor refrigerar de água da bomba de vácuo de Maglev Pump Turbo do controlador

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