Turbopumps e sistemas de bombeamento magneticamente levitados CXF-250/2301E

As bombas moleculares levitam magneticamente so as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética.

As bombas moleculares levitativamente magnetizadas da série so equipamentos de geraço de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicaço para campos de fabricaço moderna de semicondutores, fabricaço de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para mancais magnéticos: um sistema de 5 eixos levitado magneticamente, com base na avançada teoria de controle internacional, para garantir vantagens to significativas dos eixos de alta velocidade como operaço estável levitada e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento motorizado: motor DC de alta eficiência e servocontrole de alta eficiência, com potência máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotaço do eixo, realizando assim uma partida estável, operaço confiável e funço de regulagem automática da energia dinmica .
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Fabricado por uma liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Caracteriza-se por grande reduço de peso e grande melhoria de resistência, de modo que so atingidos alvos de alta velocidade de rotaço, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência corroso: Superfícies de peças em cmaras so tratadas com processo especial, de modo que as superfícies podem resistir corroso causada por gases corrosivos em processos de fabricaço de semicondutores por um longo tempo. Além disso, gases inertes, como o N2, so totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que a funço de gases corrosivos de exausto estável por longos períodos é realizada.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento: equipado com aquecedor elétrico e controlador de temperatura, água de resfriamento, aquecimento ósseo, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteço, pode ser monitorado e controlado durante a operaço, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para a longo prazo, algumas substncias gasosas no so convertidas em substncias sólidas temperatura normal e no depositadas nas bombas, e os requisitos para o processo especial de gravaço podem ser cumpridos.

Aplicações:

Bombas moleculares levitadas magneticamente so aplicadas principalmente em campos de fabricaço de semicondutores, fabricaço de clipes, chapeamento industrial e instrumentos científicos, especialmente para a extraço de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implantaço iônica e gases facilmente coagulados em temperatura normal.

Especificações:

A TECNOLOGIA CO. de KYKY, LTD., foi fundada em 1958, o pioneiro da tecnologia do vácuo e sistema ótico de elétron em China. Nos 60 anos passados, KYKY foi dedicado a fornecer soluções detalhadas do vácuo aos clientes pelo mundo inteiro.

KYKY inventou o primeiro grupo de bomba molecular do turbocompressor, de detector de escape comercial do hélio e de microscópio de elétron da exploraço em China.

KYKY oferece soluções, consulta e serviços da tecnologia do vácuo a nossos clientes. Os produtos principais so aplicados nos campos da ciência da vida, da engenharia da medicina, da indústria de automóvel, do espaço aéreo, da indústria energética, dos materiais de construço, da decoraço moderna, dos produtos eletrónicos de consumo da parte alta, etc.

No espírito da inovaço da tecnologia e da orientaço do cliente. KYKY contribuirá continuamente ao desenvolvimento mais adicional na indústria do vácuo de China.

A TECNOLOGIA CO. de KYKY, LTD. tem muitos anos de experiências em R & em D e fabricaço de produtos da geraço do vácuo, incluindo as bombas moleculars da série, estações de bomba moleculars da série, bombas de íon da série, válvulas de porta da série e apoiando controladores.

Desde desenvolver a bomba molecular in 1970 do primeiro turbocompressor vertical, KYKY orienta sempre

ao mercado baseado sobre a necessidade, aponta cumprir a exigência de nossos clientes, e lança continuamente produtos novos no espírito da empresa de tornar-se na inovaço, sequencialmente KYKY lança as bombas moleculars do turbocompressor lubrificado da série, bombas moleculars graxa-lubrificadas da série e as CXF-séries levitaram magneticamente

bombas moleculars.

As bombas moleculars de KYKY so aplicadas extensamente para prover campos de espectrómetros maciços e dos analisadores de superfície, ao película, ao tela, gravura a água-forte de íon, fabricaço do disco, s células solares e s empresas óticos da iluminaço, e s instituições acadêmicos e aos institutos de R & de D. Em virtude do desempenho custado excelente, estes produtos ganham a boa reputaço da maioria dos usuários. Os produtos de alta qualidade so derivados de nossas descoberta e perseguiço técnicas contínuas da qualidade.

KYKY proporcionará persistentemente melhores produtos e serviços da qualidade para clientes por nossa inovaço contínua, paixo e

compromisso.