os filmes finos do nióbito do lítio da bolacha de 2inch 3inch 4inch LNOI LiNbO3 mergulham na carcaça de silicone

os filmes finos do nióbito do lítio da bolacha de 2inch 3inch 4inch LNOI LiNbO3 mergulham na carcaça de silicone

O processo da preparaço da bolacha de LNOI é mostrado abaixo, incluindo as seguintes cinco etapas:

(1) Ion Implantation: A máquina da implantaço de íon é usada para conduzi-lo alta-tenso íons da superfície superior do cristal do nióbito do lítio. Quando íons com energia específica entra no cristal, estaro obstruídos por átomos e por elétrons no cristal de LN e para retardar e ficar gradualmente em uma posiço específica da profundidade, destruindo a estrutura de cristal perto desta posiço e rachando o cristal de LN em camadas superiores e mais baixas de A/B. E a zona A está indo ser o filme fino que nós precisamos de fazer LNOI.

(2) preparaço da carcaça: Para fazer bolachas do nióbito do lítio do filme fino, no é certamente possível deixar centenas de filmes finos do nanômetro LN em um estado suspendido. Os materiais de apoio sendo a base so exigidos. Em bolachas comuns de SOI, a carcaça é uma camada de bolachas de silicone com uma espessura de mais do que 500um, e a camada SiO2 dielétrica é preparada ento na superfície. Finalmente, o filme fino do silicone monocrystalline é ligado na superfície superior para formar bolachas de SOI. Quanto para s bolachas de LNOI, o si e LN so carcaças de uso geral, e a camada SiO2 dielétrica é preparada ento pelo processo térmico do oxigênio ou do depósito de PECVD. Se a superfície da camada dielétrica é desigual, o processo de moedura mecnico químico do CMP é necessário fazer a superfície superior lisa e lisa, que é conveniente para o processo de ligamento subsequente.

ligaço do filme (de 3): Usando um dispositivo da ligaço da bolacha, o cristal implantado íon de LN é invertido 180 graus e ligou-se carcaça. Para a produço nivelada da bolacha, as superfícies de ligamento de ambas as carcaças e LN so alisados, geralmente pela ligaço direta sem a necessidade para materiais intermediários da pasta. Para a pesquisa científica, BCB (benzocyclobutene) pode igualmente ser usado como o material da pasta da camada intermediária para conseguir para morrer para morrer ligaço. O modo de ligamento de BCB tem uma baixa exigência na lisura da superfície de ligamento, que é muito apropriada para experiências da pesquisa científica. Contudo, BCBS no têm a estabilidade a longo prazo, assim que a ligaço de BCB no é usada geralmente na produço da bolacha

(4) recozendo e descascando: Após as duas superfícies de cristal so ligados e o recozimento e o processo de descascamento expulsos, de alta temperatura so exigidos. Depois que a superfície dos dois cristais é cabida, mantém primeiramente alguma estadia em uma temperatura específica reforçar a força da ligaço da relaço, e faz a bolha injetada da camada do íon, de modo que os filmes de A e de B sejam separados gradualmente. Finalmente, o equipamento mecnico é usado para descascar distante os dois filmes, e para reduzir ento gradualmente a temperatura temperatura ambiente para terminar o processo inteiro do recozimento e de descascamento.

(5) aplainar do CMP: Após o recozimento, a superfície da bolacha de LNOI é áspera e desigual. Aplainar mais adicional do CMP é necessário fazer o filme no plano da superfície da bolacha e reduzir a aspereza de superfície.

Especificaço característica

A exposiço de filmes finos da bolacha do nióbito do lítio mergulha na carcaça de silicone

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