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Wafer SOI Wafer de silício no isolante Wafer 4 polegadas 5 polegadas 6 polegadas 8 polegadas (100) (111) P Tipo N Tipo
Wafer SOI refere-se a uma fina camada de cristal único de silício revestida sobre um isolante feito de dióxido de silício ou vidro (daí o nome "silício no revestimento de isolamento",frequentemente referido como SOI em abreviaço)Os transistores construídos numa fina camada de SOI podem operar mais rapidamente e consumir menos energia do que os construídos num simples chip de silício.A tecnologia do silício sobre o isolante (SOI) é a fabricaço de dispositivos de semicondutores de silício num substrato de silício em camadas, para reduzir a capacitncia parasitária dentro do dispositivo, melhorando assim o desempenho.Os dispositivos baseados em SOI diferem dos dispositivos convencionais construídos em silício, pois a junço de silício está acima de um isolador elétrico, tipicamente dióxido de silício ou safira (estes tipos de dispositivos so chamados de silício sobre safira, ou SOS).com safiros utilizados para aplicações de radiofrequência de alto desempenho (RF) e sensíveis radiaçoA camada isolante e a camada de silício superior também variam muito dependendo da aplicaço.
Dimetro | 4" | 5" | 6" | 8" | |
Camada de dispositivos | Suplementos | Boro, fosfato, arsénio, antimônio, no dopado | |||
Orientaço | Capacidade de produço | ||||
Tipo | SIMOX, BESOI, Simbond, Smart-cut | ||||
Resistividade | 0.001-20000 Ohm-cm | ||||
Espessura (mm) | > 1.5 | ||||
TTV | < 2um | ||||
Capa de caixa | Espessura (mm) | 0.2-4.0um | |||
Uniformidade | < 5% | ||||
Substrato | Orientaço | Capacidade de produço | |||
Tipo/Dopante | Tipo P/Boro, Tipo N/Phos, Tipo N/As, Tipo N/Sb | ||||
Espessura (mm) | 200 a 1100 | ||||
Resistividade | 0.001-20000 Ohm-cm | ||||
Superfície finalizada | P/P, P/E | ||||
Partículas | < 10@.0.3um |
As nossas soluções SoL personalizadas so utilizadas nos seguintes domínios:
Mercados finais:
1.P: Qual é a constante dielétrica do silício em isoladores?
R: A constante dielétrica para os materiais de silício comumente
utilizados é: dióxido de silício (SiO2) - constante dielétrica =
3.9Nitreto de silício (SiNx) - constante dielétrica = 7.5. Silício
puro (Si) - constante dielétrica = 11.7
2.P: Quais so as vantagens das wafers SOI?
R: As placas SOI têm maior resistência radiaço, tornando-as menos
propensas a erros macios.Outras vantagens dos wafers SOI incluem
uma menor dependência da temperatura e menos problemas de antena.
2Wafer composto de SiC-on-Si do tipo N