A unidade de filtro do fã de SUS304 Hepa FFU galvanizou o fluxo de ar laminar da folha

De fluxo de ar laminar FFU do novo tipo unidade de filtro do f do quarto desinfetado FFU

A flexibilidade do sistema de limpeza é muito importante para fábricas de IC devido a suas flexibilidade alta e taxa alta da cobertura. Se a limpeza na oficina precisa o ajuste regional como as mudanças do processo, a limpeza em áreas locais pode ser mudada mudando o volume de ar de FFU ou substituindo a placa cega. Quando coberta densamente, a taxa da cobertura pode alcançar 85,5%.

O teto superior do FFU é a presso negativa, que pode jogar um papel da selagem da presso negativa. A presso de ar no teto é presso negativa, e a presso de ar na limpeza é maior do que a presso no espaço do teto. Se há uma diferença entre o FFU e o selo do suporte, a presso negativa impedirá que o ar que no passa através do filtro de HEPA entre na sala, que é conducente a assegurar a limpeza do quarto desinfetado.

A resistência do sistema de ar é pequena, a velocidade do vento na tomada de ar é baixa, e a área de barlavento do FFU é grande, e a resistência do fluxo de ar é sobre 50Pa; A área secional do canal de ar do retorno é igualmente grande, e a resistência do canal de ar do retorno está dentro de 15Pa; A resistência de assoalho perfurado e de grade é pequena. A resistência total do ar do retorno (incluindo assoalho perfurado e canal de ar da grade), da resistência de FFU e da resistência do filtro final é menos do que 250Pa. A velocidade do vento da tomada de FFU é geralmente 0.38~0.45m/s.

O consumo de baixa energia pelo volume de ar da unidade depois que FFU é adotado, lá no é nenhuma necessidade de adicionar um f do impulsionador e uma sala especial da máquina, e a resistência do encanamento do suprimento de ar é evitada. Quando o motor de DC/EC (retificador eletrônico) é adotado para FFU, a eficiência do motor pode alcançar 75%~80%, e cada grupo pode conduzir o controle regulamentar da velocidade de acordo com a queda de tenso do filtro para salvar o consumo de energia. Consequentemente, o consumo de energia pelo volume de ar da unidade é geralmente mais baixo do que o sistema centralizado de grandes fs centrífugos.

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