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O braço robótico de cermica desempenha um papel na manipulaço de equipamentos de semicondutores.É equivalente mo do robô do equipamento de semicondutores e é responsável por transportar chips de silício de wafer para o local especificadoComo o chip de silício da bolacha é extremamente vulnerável a outras partículas, é geralmente realizado num ambiente de vácuo.
Neste ambiente, o braço robótico da maioria dos materiais é
geralmente difícil de concluir o trabalho.Neste momentoHá dois
tipos de braços robóticos cermicos gerais, um é o braço robótico
cermico de alumina,e o outro é um braço robótico de cermica de
carburo de silício.
A cermica de alumina e a cermica de carburo de silício possuem as propriedades físicas de densidade de qualidade, alta dureza e alta resistência abraso, bem como boa resistência térmica,Excelente resistência mecnica, bom isolamento, boa resistência corroso, etc. É um excelente material para a fabricaço de equipamentos de semicondutores braços robóticos.
Mas em termos de desempenho, o braço robótico feito de cermica de
silício é melhor do que o braço robótico feito de cermica de
alumina.
Os produtos cermicos de carburo de silício normalmente sinterizados
so feitos de microenchimentos de carburo de silício de alta pureza
e ultrafinos.O teor de carburo de silício é superior a 990,1% e a
densidade do produto é ≥ 3,10 g/cm3.