Modulos de motor de bobina de voz de curso curto de circuito fechado Servo estágio de movimento linear para máquina CNC

O projeto cilíndrico do VCM (motor de bobina de voz) utiliza uma estrutura tubular que abriga os seus componentes básicos.ambos alinhados ao longo do eixo central do motorA bobina é geralmente enrolada em torno de um cilindro oco, enquanto o ím permanente envolve a bobina.A preciso e a capacidade de resposta do motor de bobina de voz cilíndrica VCM so fundamentais para atingir os requisitos rigorosos do processo de fabricaço de semicondutores.Permite a manipulaço precisa da wafer, garantindo a produço consistente e de alta qualidade de dispositivos semicondutores.
Manipulaço em aplicações de semicondutores:
Manuseio de wafer: Durante a fabricaço de semicondutores, as wafers precisam ser posicionadas com preciso para uma variedade de processos.o motor cilíndrico VCM está integrado no sistema de manuseio de wafer para permitir um alinhamento preciso.
Alinhamento: Quando uma bolacha precisa ser posicionada para um processo específico, o sistema de controle envia um sinal para o VCM. A corrente flui através de uma bobina, criando um campo magnético.A interaço entre este campo magnético e os íms permanentes cria uma força que move a bobina e a carga ligada (wafer) para a posiço desejada.
Controle de feedback: para garantir a preciso, o movimento da VCM é monitorado por um sistema de feedback.Se for detectado qualquer desvio da posiço-alvo, o sistema de controlo ajusta a corrente que flui através da bobina para corrigir a posiço.
Alta preciso: O motor cilíndrico VCM utiliza um mecanismo de acionamento direto, resultando em alta preciso.resultando num posicionamento preciso.
 

Parmetros técnicos:

Módulo de eixo único de motor de bobina de voz para aplicações de servo de circuito fechado de curso curto, com peso leve do atuador e resposta rápida (até 20 G em milissegundos).A base adota máquinas de preciso de alumínio de aviaço, boa estabilidade, pode fazer oscilaço de alta velocidade e movimento recíproco. controle simples e confiável, no é necessário dispositivo de reverso, longa vida sem manutenço. posiço de preciso, velocidade,é possível controlar a aceleraço e o empurroEquipado com um codificador e um trilho de guia adequados, a preciso de posicionamento pode atingir 0,1-5um.Os requisitos de empuxo esto configurados com condutores e controladores adequados. A estrutura da plataforma pode ser processada e personalizada. De acordo com diferentes aplicações, é configurado um mecanismo de guia linear adequado: diferentes tipos de trilhos de guia linear de alta preciso.

 Indicadores técnicos e especificações podem ser personalizados